[發(fā)明專利]一種基于激光誘導光譜擊穿技術檢測真空裝置真空度的系統(tǒng)及方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610955767.9 | 申請日： | 2016-10-27 |
| 公開（公告）號： | CN106290264B | 公開（公告）日： | 2019-06-11 |
| 發(fā)明（設計）人： | 楊澤鋒;李興文;吳堅;賈申利;魏文賦 | 申請（專利權）人： | 西安交通大學 |
| 主分類號： | G01N21/63 | 分類號： | G01N21/63;G01L21/26 |
| 代理公司： | 西安通大專利代理有限責任公司 61200 | 代理人： | 齊書田 |
| 地址： | 710049 陜*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 激光 誘導 光譜 擊穿 技術 檢測 真空 裝置 系統(tǒng) 方法 | ||
【說明書】：
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