[發明專利]一種梯度結構類金剛石薄膜及其制備方法有效
| 申請號： | 201610955123.X | 申請日： | 2016-10-27 |
| 公開（公告）號： | CN106521493B | 公開（公告）日： | 2018-11-02 |
| 發明（設計）人： | 彭繼華;蘇東藝;梁獻文 | 申請（專利權）人： | 廣州今泰科技股份有限公司;華南理工大學 |
| 主分類號： | C23C28/00 | 分類號： | C23C28/00 |
| 代理公司： | 北京精金石知識產權代理有限公司 11470 | 代理人： | 劉曄 |
| 地址： | 510530 廣東省廣州市經濟技*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 梯度 結構 金剛石 薄膜 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于廣州今泰科技股份有限公司;華南理工大學，未經廣州今泰科技股份有限公司;華南理工大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610955123.X/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 同類專利
- 專利分類
