[發明專利]樣品臺、微觀觀察裝置和樣品臺調整方法

有效

• 申請號: 201610954464.5
• 申請日: 2016-11-03
• 公開（公告）號: CN108020252B
• 公開（公告）日: 2020-03-06
• 發明（設計）人: 申亞京;陸豪健
• 申請（專利權）人: 香港城市大學深圳研究院
• 主分類號: G01D11/00
• 分類號: G01D11/00;G01Q30/20;G01N21/01
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 朱坤鵬;王春光

1.一種微觀觀察裝置的樣品臺調整方法，其特征在于，所述微觀觀察裝置含有所述樣品臺和顯微鏡(17)；

在以X、Y、Z為坐標軸的空間直角坐標系中，該樣品臺包括沿Z坐標軸方向依次連接的旋轉電機(3)、旋轉電機與水平直線電機連接模塊(4)、水平直線電機(5)、水平直線電機滑塊(6)、水平直線電機與垂直直線電機連接模塊(7)、垂直直線電機(8)、垂直直線電機滑塊(9)和載物臺(12)；旋轉電機(3)能夠驅動旋轉電機與水平直線電機連接模塊(4)和水平直線電機(5)以Z坐標軸為軸轉動，水平直線電機(5)能夠驅動水平直線電機滑塊(6)和水平直線電機與垂直直線電機連接模塊(7)沿X坐標軸的方向移動，垂直直線電機(8)能夠驅動垂直直線電機滑塊(9)和載物臺(12)沿Y坐標軸的方向移動；

顯微鏡(17)用于觀察載物臺(12)上的樣品；

該微觀觀察裝置還含有控制單元，該控制單元能夠控制所述樣品臺的運行，該控制單元與顯微鏡(17)的成像部件連接；

該微觀觀察裝置的樣品臺調整方法包括以下步驟：

步驟1、將樣品安裝于載物臺(12)上；

步驟2、記錄該樣品在顯微鏡(17)的成像單元的視野范圍內的原始坐標；

步驟3、旋轉電機(3)以Z坐標軸為軸轉動，再次記錄該樣品在顯微鏡(17)的成像單元的視野范圍內的轉后坐標；

步驟4、該控制單元根據該原始坐標、轉后坐標和旋轉電機(3)的轉動角度計算出旋轉電機(3)在顯微鏡(17)的該成像單元的視野范圍內的中心坐標；

步驟5、該控制單元根據該原始坐標和中心坐標之間的距離以及該轉后坐標和中心坐標之間距離相應的控制水平直線電機(5)和垂直直線電機滑塊(9)，使該樣品移動至該中心坐標。

2.根據權利要求1所述的微觀觀察裝置的樣品臺調整方法，其特征在于，在步驟4中根據公式一和公式二計算出該中心坐標；

公式一為

公式二為(a₁-x)²+(b₁-y)²＝(a₂-x)²+(b₂-y)²；

a1為該原始坐標在該視野范圍內以a、b為坐標軸的平面直角坐標系中的a軸上的數值；

b1為該原始坐標在該視野范圍內以a、b為坐標軸的平面直角坐標系中的b軸上的數值；

a2為該轉后坐標在該視野范圍內以a、b為坐標軸的平面直角坐標系中的a軸上的數值；

b2為該轉后坐標在該視野范圍內以a、b為坐標軸的平面直角坐標系中的b軸上的數值；

α為旋轉電機(3)的轉動角度；

x為該中心坐標在該視野范圍內以a、b為坐標軸的平面直角坐標系中的a軸上的數值；

y為該中心坐標在該視野范圍內以a、b為坐標軸的平面直角坐標系中的b軸上的數值。

3.根據權利要求1所述的微觀觀察裝置的樣品臺調整方法，其特征在于，步驟5后還包括步驟6；

步驟6、提高顯微鏡(17)的高放大倍數，對載物臺(12)上的樣品進行轉動和觀察。

4.根據權利要求1所述的微觀觀察裝置的樣品臺調整方法，其特征在于，旋轉電機與水平直線電機連接模塊(4)位于旋轉電機(3)的上端，旋轉電機(3)的下端還設有用于按照固定的平臺底板(1)。

5.根據權利要求4所述的微觀觀察裝置的樣品臺調整方法，其特征在于，平臺底板(1)的邊緣設有平臺固定通孔(2)。

6.根據權利要求1所述的微觀觀察裝置的樣品臺調整方法，其特征在于，垂直直線電機滑塊(9)和載物臺(12)之間設有載物臺底座(11)，載物臺(12)與載物臺底座(11)固定連接，載物臺底座(11)通過螺釘(10)與垂直直線電機滑塊(9)固定連接。

7.根據權利要求1所述的微觀觀察裝置的樣品臺調整方法，其特征在于，顯微鏡(17)和觀察載物臺(12)之間設有右微納操作臂(15)和左微納操作臂(16)。