[發(fā)明專利]壓電元件、壓電模塊、電子設(shè)備以及壓電元件的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610949882.5
• 申請日: 2016-10-26
• 公開（公告）號: CN107039577B
• 公開（公告）日: 2022-01-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 宮澤弘;伊藤浩;中村友亮;山田昌佳;山崎清夏;舩坂司
• 申請（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H01L41/047
• 分類號: H01L41/047;H01L41/29;H01L41/297;B06B1/06
• 代理公司: 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 田喜慶;吳孟秋

1.一種壓電元件，其特征在于，所述壓電元件具備：

撓性膜；

壓電體，設(shè)置于所述撓性膜；

第一電極，設(shè)置于所述撓性膜的設(shè)置有所述壓電體一側(cè)的第一面和所述壓電體的與所述撓性膜相反一側(cè)的第二面之間；

第二電極，設(shè)置于所述第一面和所述第二面之間，在從所述撓性膜的厚度方向觀察的俯視下，與所述第一電極隔著第一間隙相對；以及

至少1個中間電極，設(shè)置于在所述俯視下所述第一電極和所述第二電極之間且與所述第一電極、所述第二電極隔著第二間隙相對。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電元件，其特征在于，

所述第一電極和所述第二電極設(shè)置于所述撓性膜和所述壓電體之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電元件，其特征在于，

所述第一電極和所述第二電極埋入所述壓電體的內(nèi)部。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的壓電元件，其特征在于，

所述第一電極和所述第二電極設(shè)置于與所述第一面平行的面內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的壓電元件，其特征在于，

所述第一電極具有與所述第二電極相對的第一端面，

所述第二電極具有與所述第一電極相對的第二端面，

所述第一端面和所述第二端面平行。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的壓電元件，其特征在于，

所述壓電體由鈣鈦礦型過渡金屬氧化物構(gòu)成。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓電元件，其特征在于，

所述壓電體包含Pb、Zr以及Ti。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的壓電元件，其特征在于，

所述撓性膜包括與所述壓電體相接觸的第一層，該第一層由過渡金屬氧化物構(gòu)成。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的壓電元件，其特征在于，

所述第一層由ZrO₂構(gòu)成。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的壓電元件，其特征在于，

所述第一間隙是2μm以上8μm以下。

11.一種壓電模塊，其特征在于，所述壓電模塊具備：

撓性膜；

壓電體，具有與所述撓性膜相接觸的第一面和與所述第一面相反一側(cè)的第二面；

第一電極，設(shè)置于所述壓電體的所述第一面和所述第二面之間；

第二電極，設(shè)置于所述壓電體的所述第一面和所述第二面之間，在從所述撓性膜的厚度方向觀察的俯視下，與所述第一電極隔著第一間隙相對；以及

配線基板，具有與所述第一電極、所述第二電極電連接的端子部，

所述配線基板具備極化電路，所述極化電路對所述第一電極和所述第二電極之間施加10kV/cm以上的電場來進(jìn)行極化處理。

12.一種電子設(shè)備，其特征在于，所述電子設(shè)備具備壓電元件和控制部，

所述壓電元件具備：撓性膜；壓電體，具有與所述撓性膜相接觸的第一面和與所述第一面相反一側(cè)的第二面；第一電極，設(shè)置于所述壓電體的所述第一面和所述第二面之間；第二電極，設(shè)置于所述壓電體的所述第一面和所述第二面之間，在從所述撓性膜的厚度方向觀察的俯視下，與所述第一電極隔著第一間隙相對；以及至少1個中間電極，設(shè)置于在所述俯視下所述第一電極和所述第二電極之間且與所述第一電極、所述第二電極隔著第二間隙相對，

所述控制部控制所述壓電元件。