[發明專利]科里奧利質量流量計

在審

• 申請號: 201610947958.0
• 申請日: 2016-10-26
• 公開（公告）號: CN106996812A
• 公開（公告）日: 2017-08-01
• 發明（設計）人: 村上英一
• 申請（專利權）人: 株式會社壓電
• 主分類號: G01F1/84
• 分類號: G01F1/84
• 代理公司: 北京律和信知識產權代理事務所(普通合伙)11446
• 代理人: 武玉琴,劉國偉

技術領域

本發明涉及一種彈性保持測量管的一部分的科里奧利質量流量計(Coriolis Mass Flow Meter)。

背景技術

因作用于以速度V朝向旋轉振動系統的旋轉中心、或離開旋轉中心的質量m的質點上的科里奧利力和質量m與速度V的乘積成正比例，所以，科里奧利質量流量計是測量出科里奧利力而求出質量流量這種方式的流量計。

與壓差式、電磁式、容積式等流量計相比，科里奧利質量流量計在以下各方面具有良好的特長：可直接獲得質量流量；不存在產生磨損等的機械可動部分；維護性優良；及原理上能通過測量管的振動頻率的計量而計量密度等。

例如，專利文獻1中已公開一種圖10所示的使用U字形測量管的科里奧利質量流量計。測量管是由1根U字形測量管1構成，懸臂梁狀的U字形測量管1將經由安裝法蘭2a、2b而固定的點作為中心，以加振的共振頻率反復上下振動。

流入該測量管1內的測量流體從入口流向U字形的彎曲部時，根據相對于測量管1的速度而產生科里奧利力，使測量管1產生變形，當測量流體從曲管部流向出口時，因科里奧利力而賦予測量管1逆向的變形而形成振動。

在測量管1中的呈U字形的前端設著振子3，在彎曲部的兩側的測量管1分別安裝著移位檢測傳感器4a、4b。

使測量管1內流有測量流體，驅動振子3且對測量管1進行加振。若振子3的振動方向的角速度設為ω、測量流體的流速設為ν，則作用有Fc＝-2mω×ν的科里奧利力，利用移位檢測傳感器4a、4b檢測與該科里奧利力Fc成正比例的振動的振幅，進行運算便能測量出質量流量。

[現有技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開平3-41319號公報。

發明內容

[發明所要解決的問題]

然而，此現有例的科里奧利質量流量計中，測量管1通常使用金屬管，以使得即便測量管1內充滿測量流體，也不會例如由于U字狀部分因自重等產生垂下等變形而導致產生測量誤差。然而，金屬管難以加工，難以加工出特性相同的金屬管，使用時其支撐構造大型化、重量也變重，價格也變高。

而且，例如當測量半導體制造裝置等中使用的腐蝕性液體時，不得不使用抗蝕性大的氟樹脂管等，當使用合成樹脂管時，雖然測量管的加工性有利且能輕量化，然而需要減少變形且增大對于振動的剛性的支撐構造。

本發明的目的在于提供一種能解決所述問題、在1個點彈性保持測量管、實現小型化且經濟的科里奧利質量流量計。

[解決問題的技術手段]

為了實現所述目的，本發明的科里奧利質量流量計具有：測量管，供測量流體向一個方向流通；固定部，相對于該測量管配置在規定的位置；彈性構件，配置在所述測量管與所述固定部之間；加振驅動部，賦予所述測量管振動；及移位檢測部，在所述測量管的往路管和返路管的2個部位檢測所述測量管的移位；所述固定部經由所述彈性構件而彈性保持所述測量管。

[發明的效果]

根據本發明的科里奧利質量流量計，通過彈性保持測量管，使得測量管不會因自重等產生變形，能依據產生的科里奧利力穩定地測量流量。

附圖說明

圖1是實施例1的科里奧利質量流量計的立體圖。

圖2是側視圖。

圖3是主要部分的放大結構圖。

圖4是溫度測量部的結構圖。

圖5是實施例2的主要部分的放大立體圖。

圖6是實施例3的立體圖。

圖7是側視圖。

圖8是實施例4的側視圖。

圖9是實施例5的側視圖。

圖10是現有例的科里奧利質量流量計的立體圖。

具體實施方式

根據圖1至圖9所示的實施例詳細說明本發明。

[實施例1]

圖1是實施例1的科里奧利質量流量計的立體圖，圖2是側視圖。該實施例1的科里奧利質量流量計主要由以下機構構成：測量管11，供測量流體向一個方向流通；連結部12，用于保持測量管11；固定部13，相對于連結部12處于規定的位置；彈性構件14，安裝于連結部12與固定部13之間；加振驅動部15，對測量管11進行加振；移位檢測部16，檢測測量管11的移位；溫度測量部17，對測量流體進行測溫；及未圖示的運算控制部，進而對這些機構輸入輸出檢測信號、控制信號，算出測量流體的流量。