[發(fā)明專(zhuān)利]一種抑制激光光斑雜訊提升穩(wěn)定性的三維形貌掃描系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610946431.6
• 申請(qǐng)日: 2016-10-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106931899B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-07-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔡政廷;翁義龍
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 致茂電子股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01B11/24
• 分類(lèi)號(hào): G01B11/24
• 代理公司: 北京律誠(chéng)同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國(guó)

1.一種三維形貌掃描系統(tǒng)，其特征在于，包含：

一線(xiàn)光源，提供一線(xiàn)光束；

一旋轉(zhuǎn)鏡，將該線(xiàn)光束反射至一待測(cè)面，以于該待測(cè)面上形成一照射區(qū)域，其中該旋轉(zhuǎn)鏡旋轉(zhuǎn)使得該照射區(qū)域擺動(dòng)，且不同時(shí)刻的所述照射區(qū)域形成一重疊區(qū)域，且所述照射區(qū)域部分地位于所述重疊區(qū)域之外；以及

一影像擷取裝置，用以擷取該待測(cè)面上的該照射區(qū)域的影像。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維形貌掃描系統(tǒng)，其特征在于，該待測(cè)面上的該照射區(qū)域具有一延伸方向，該旋轉(zhuǎn)鏡旋轉(zhuǎn)使得該照射區(qū)域?qū)嵸|(zhì)沿該延伸方向擺動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維形貌掃描系統(tǒng)，其特征在于，該待測(cè)面上的該照射區(qū)域具有一延伸方向，該照射區(qū)域沿著該延伸方向具有一第一長(zhǎng)度，該照射區(qū)域擺動(dòng)的擺幅小于該照射區(qū)域的該第一長(zhǎng)度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維形貌掃描系統(tǒng)，其特征在于，該待測(cè)面上的該照射區(qū)域具有一延伸方向，該照射區(qū)域沿著該延伸方向具有一第一長(zhǎng)度，且該影像擷取裝置于該待測(cè)面上具有一取像區(qū)域，該取像區(qū)域沿著該延伸方向具有一第二長(zhǎng)度，該第二長(zhǎng)度小于該第一長(zhǎng)度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維形貌掃描系統(tǒng)，其特征在于，該旋轉(zhuǎn)鏡具有一旋轉(zhuǎn)頻率，且該影像擷取裝置具有一取像頻率，該旋轉(zhuǎn)頻率等于該取像頻率。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維形貌掃描系統(tǒng)，其特征在于，該旋轉(zhuǎn)鏡具有一旋轉(zhuǎn)頻率，且該影像擷取裝置具有一取像頻率，該旋轉(zhuǎn)頻率大于該取像頻率。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維形貌掃描系統(tǒng)，其特征在于，該旋轉(zhuǎn)鏡包含：

一反射鏡，具有一旋轉(zhuǎn)軸，該旋轉(zhuǎn)軸實(shí)質(zhì)位于該反射鏡的中心；以及

一旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，連接該反射鏡，使得該反射鏡沿著該旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維形貌掃描系統(tǒng)，其特征在于，該線(xiàn)光源包含：

一點(diǎn)光源，提供一第一光束；以及

一柱狀透鏡，用以將該第一光束變形為該線(xiàn)光束。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維形貌掃描系統(tǒng)，其特征在于，該線(xiàn)光束為激光光束。