[發明專利]一種用于反射鏡光學加工原位檢測的裝置及使用方法

有效

• 申請號: 201610945836.8
• 申請日: 2016-11-02
• 公開（公告）號: CN106568393B
• 公開（公告）日: 2019-02-22
• 發明（設計）人: 胡海飛;羅霄;薛棟林;張學軍
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 北京理工大學專利中心 11120
• 代理人: 李微微;仇蕾安

1.一種用于反射鏡光學加工原位檢測的裝置，其特征在于，包括基板(1)、密封膜片(2)、加工支撐單元(10)以及檢測支撐單元(11)；

所述加工支撐單元(10)的數量為至少3個，安裝在基板(1)上；所述檢測支撐單元(11)的數量為至少3個，安裝在基板(1)上；所述密封膜片(2)的邊緣固定在所述基板(1)上，密封膜片(2)和基板(1)所包圍的腔體形成密封腔體；待加工和檢測的反射鏡(4)置于密封膜片(2)上；

當只有一個密封膜片(2)時，加工支撐單元(10)以及檢測支撐單元(11)均隱藏在密封腔體內部，加工支撐單元(10)可以上下調整。

2.如權利要求1所述的一種用于反射鏡光學加工原位檢測的裝置，其特征在于，所述密封膜片(2)為一個。

3.如權利要求2所述的一種用于反射鏡光學加工原位檢測的裝置，其特征在于，還包括環狀的膜片壓模(3)，安裝在所述密封膜片(2)的側邊緣外側；膜片壓模(3)的內側邊緣加工有凸起；所述凸起的高度和長度滿足：在所述密封腔體充氣后，膜片壓模(3)的凸起接近所述反射鏡(4)的邊緣，原位檢測狀態時，所述凸起與密封膜片(2)的接觸面與所述反射鏡(4)的背面相切。

4.如權利要求1所述的一種用于反射鏡光學加工原位檢測的裝置，其特征在于，所述密封膜片(2)為兩個以上；反射鏡(4)覆蓋于所有密封膜片(2)上；加工支撐單元(10)以及檢測支撐單元(11)安裝在密封膜片(2)之間的空隙。

5.如權利要求4所述的一種用于反射鏡光學加工原位檢測的裝置，其特征在于，還包括環狀的膜片壓模(3)，安裝在所有密封膜片(2)的包絡的外側邊緣；膜片壓模(3)的內側邊緣加工有凸起；所述凸起的高度和長度滿足：在所述密封腔體充氣后，膜片壓模(3)的凸起接近所述反射鏡(4)的邊緣，原位檢測狀態時，所述凸起與密封膜片(2)的接觸面與所述反射鏡(4)的背面相切。

6.如權利要求1至5中任意一個所述的一種用于反射鏡光學加工原位檢測的裝置，其特征在于，所述檢測支撐單元(11)包括力傳感器(5)、支撐墊(7)、連接桿(8)以及固定桿(9)；所述固定桿(9)安裝在基板(1)上；所述力傳感器(5)安裝在固定桿(9)上；所述連接桿(8)安裝在力傳感器(5)上；所述支撐墊(7)安裝在連桿(8)上。

7.如權利要求6所述的一種用于反射鏡光學加工原位檢測的裝置，其特征在于，所述支撐墊(7)采用磁性材料；所述檢測支撐單元(11)還包括預埋磁鐵，安裝在反射鏡(4)之上并與支撐墊(7)對應的位置上。

8.如權利要求1所述的一種用于反射鏡光學加工原位檢測的裝置，其特征在于，所述加工支撐單元(10)均分成3或6個組，每組至少包括1個加工支撐單元(10)，所述基板(1)表面均分成3或6個區域，每一個區域放置一組加工支撐單元(10)；每個區域形心處安裝一個檢測支撐單元(11)。

9.如權利要求1所述的一種用于反射鏡光學加工原位檢測的裝置，其特征在于，在反射鏡(4)與密封膜片(2)之間鋪撒一層微粉。

10.如權利要求6所述的一種用于反射鏡光學加工原位檢測的裝置，其特征在于，所述力傳感器的精度優于0.1％。

11.如權利要求6所述的一種用于反射鏡光學加工原位檢測的裝置，其特征在于，預埋磁鐵(6)和支撐墊(7)分別與密封膜片(2)接觸的表面粗糙度均大于3.2。

12.如權利要求1所述的一種用于反射鏡光學加工原位檢測的裝置，其特征在于，加工支撐單元(10)采用液壓支撐或者Hindle/whiffletree型多點支撐方式。

13.如權利要求1所述的一種用于反射鏡光學加工原位檢測的裝置，其特征在于，還包括側限位拉桿，安裝在反射鏡(4)的側面。