[發明專利]多密封系統漏率測量方法和裝置

在審

• 申請號: 201610944228.5
• 申請日: 2016-11-02
• 公開（公告）號: CN107543664A
• 公開（公告）日: 2018-01-05
• 發明（設計）人: 邵容平;孫立臣;孟冬輝;王勇;孫偉;綦磊;趙月帥;任國華;王健
• 申請（專利權）人: 北京衛星環境工程研究所
• 主分類號: G01M3/20
• 分類號: G01M3/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.多密封系統總漏率測試的測量系統，主要包括標準漏率裝置、多種示漏氣體氣源、真空容器、抽氣單元、取樣單元、四極質譜分析單元和數據處理單元，所述標準漏率裝置包括標準漏孔組，多種示漏氣體氣源通過標準漏孔組與真空容器連通，真空泵對標準漏孔組的前后端進行抽氣，氣源通過自動調壓閥與標準漏孔組連通并將標準漏孔組前的壓力穩定在一定數值，標準漏孔組與真空容器之間通過閥門進行連接，所述真空容器連接有抽氣單元，抽氣單元包括粗抽機組、分子泵高真空系統，粗抽機組與真空容器通過閥門直接連接，分子泵高真空系統與真空容器也通過閥門直接連接，分子泵采用了羅茨泵機組為前級，真空容器通過取樣單元和四極質譜分析單元相連通，四極質譜分析單元與數據處理單元電連接，其中，將航天器測試組件放入真空容器內，對容器抽真空得到不同質量數氣體的特征峰對應的離子流大小，作為本底值；再向真空容器依次分別引入不同示漏氣體的標準漏率，得到不同示漏氣體標準漏率對應的離子流大小，關閉標準漏孔；向航天器測試組件不同的被檢密封系統內充入不同的示漏氣體，系統穩定后，通過質譜分析，得到各個不同密封系統泄漏后反應出來的實際離子流大小；根據標準漏率和對應的離子流的比值，得到不同密封系統的實際漏率值。

2.如權利要求1所述的多密封系統總漏率測試的測量系統，其中，標準漏孔優選為通道型漏孔，所述真空泵為無油渦旋真空泵。

3.如權利要求1所述的多密封系統總漏率測試的測量系統，其中，所述粗抽機組優選為變頻羅茨泵螺桿泵無油機組，分子泵高真空系統優選為磁懸浮分子泵配羅茨泵螺桿泵機組。

4.如權利要求1所述的多密封系統總漏率測試的測量系統，其中，所述連接在真空容器上的質譜分析控制臺核心為四極質譜計。

5.利用權利要求1-4任一項所述的測量系統測試多個密封系統漏率的測量方法，包括以下步驟：

首先將航天器測試組件放入真空容器內，對容器抽真空，得到不同質量數氣體的特征峰對應的離子流大小，作為本底值；然后向真空容器依次分別引入不同示漏氣體的標準漏率，通過質譜分析得到不同示漏氣體標準漏率對應的離子流大小，關閉標準漏孔；向航天器測試組件不同的被檢密封系統內充入不同的示漏氣體，系統穩定后，通過質譜分析，得到各個不同密封系統泄漏后反應出來的實際離子流大小；根據標準漏率和對應的離子流的比值，就可以得到不同密封系統的實際漏率值。

6.如權利要求5所述的測量方法，包括以下步驟：

1)將總裝后的航天器放入真空容器中，對容器進行粗抽；

2)容器粗抽達到優于5Pa后，啟動分子泵對容器進行抽高真空，同時關閉粗抽機組；

3)達到檢漏真空度后，質譜分析單元通過取樣單元對容器中的氣體進行取樣，將氣體引入到四極質譜分析單元的質譜室；

4)四極質譜分析單元達到穩定后，對不同示漏氣體的離子流進行監測并記錄本底數據；然后分別向容器通入不同示漏氣體的標準漏孔，待系統穩定后，記錄下不同示漏氣體標準漏孔對應的離子流，關閉標準漏孔；最后向航天器被檢密封系統通入示漏氣體，記錄下相對應的離子流大小；經數據處理單元處理后，得出不同系統的總漏率值。