[發明專利]高速激光線掃描的表面缺陷檢測裝置有效
| 申請號: | 201610943020.1 | 申請日: | 2016-10-26 |
| 公開(公告)號: | CN106442565B | 公開(公告)日: | 2019-06-21 |
| 發明(設計)人: | 邵建達;劉世杰;董敬濤;吳周令;陳堅;周游;王微微 | 申請(專利權)人: | 中國科學院上海光學精密機械研究所;合肥知常光電科技有限公司 |
| 主分類號: | G01N21/95 | 分類號: | G01N21/95 |
| 代理公司: | 上海新天專利代理有限公司 31213 | 代理人: | 張澤純;張寧展 |
| 地址: | 201800 上海市*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 高速 激光 掃描 表面 缺陷 檢測 裝置 | ||
【說明書】:
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