[發(fā)明專利]薄膜晶體管、陣列基板及其制造方法和顯示面板

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610941853.4
• 申請(qǐng)日: 2016-10-25
• 公開（公告）號(hào): CN106887468B
• 公開（公告）日: 2021-01-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 崔承鎮(zhèn)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L29/786
• 分類號(hào): H01L29/786;H01L27/12;H01L21/77
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 姜春咸;陳源

本發(fā)明提供一種薄膜晶體管，包括柵電極、源電極和漏電極，所述柵電極、所述源電極和所述漏電極中的至少一者包括從上至下依次層疊的輔助電極層、第一防護(hù)電極層和主電極層，制成所述輔助電極層的材料的活潑性大于制成所述第一防護(hù)電極層的材料的活潑性。本發(fā)明還提供一種陣列基板、該陣列基板的制造方法和包括所述陣列基板的顯示面板。在本發(fā)明中，光刻膠涂敷在輔助導(dǎo)電材料層上。由于形成輔助導(dǎo)電材料層的金屬活潑性較高，因此，材料原子外層的電子非常容易失去，使得所述輔助導(dǎo)電材料層能夠牢固地吸附光刻膠層。并且，在刻蝕的過程中，遮擋圖形也不容易剝離，從而可以獲得更加精確的導(dǎo)電圖形，提高制造薄膜晶體管的良率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示設(shè)備領(lǐng)域，具體地，涉及一種薄膜晶體管、包括該薄膜晶體管的陣列基板、該陣列基板的制造方法和包括所述陣列基板的顯示面板。

背景技術(shù)

顯示面板的陣列基板上包括位于不同層的多個(gè)導(dǎo)電圖形層，例如，柵線圖形層、源漏圖形層等。為了確保導(dǎo)電圖形具有良好的導(dǎo)電性能，通常利用電阻率低的材料制成所述導(dǎo)電圖形層。由于電阻率較高的導(dǎo)電材料通常具有較高的活潑性，為了避免導(dǎo)電材料被氧化，還會(huì)在電阻率較低的導(dǎo)電材料上方沉積一層防護(hù)層。

具體地，制成導(dǎo)電圖形層的步驟包括：沉積形成電阻率較低的金屬材料層；沉積形成防護(hù)層；在防護(hù)層上設(shè)置光刻膠；對(duì)光刻膠進(jìn)行曝光顯影；刻蝕形成導(dǎo)電圖形層；剝離光刻膠。

但是，防護(hù)層與光刻膠的粘結(jié)性能不好，在刻蝕過程中會(huì)產(chǎn)生剝離，從而會(huì)導(dǎo)致刻蝕星辰的導(dǎo)電圖形層形狀不準(zhǔn)確，產(chǎn)生不良。

因此，如何防止刻蝕過程中光刻膠剝落成為本領(lǐng)域亟待解決的技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種薄膜晶體管、一種包括該薄膜晶體管的陣列基板、該陣列基板的制造方法和包括所述陣列基板的顯示面板。在制造所述陣列基板的過程中，光刻膠不容易剝落，從而可以在陣列基板中獲得形狀精確的導(dǎo)電圖形層，提高產(chǎn)品良率。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，作為本發(fā)明的一個(gè)方面，提供一種薄膜晶體管，所述薄膜晶體管包括柵電極、源電極和漏電極，其中，所述柵電極、所述源電極和所述漏電極中的至少一者包括從上至下依次層疊的輔助電極層、第一防護(hù)電極層和主電極層，制成所述輔助電極層的材料的活潑性大于制成所述第一防護(hù)電極層的材料的活潑性。

優(yōu)選地，所述輔助電極層的材料與所述主電極層的材料相同。

優(yōu)選地，所述第一防護(hù)電極層的材料包括鉬鈮合金，所述主電極層的材料包括銅。

優(yōu)選地，所述薄膜晶體管包括氧化物半導(dǎo)體材料制成的有源層，包括所述輔助電極層、所述第一防護(hù)電極層和所述主電極層的電極圖形為所述源電極和所述漏電極，所述源電極和所述漏電極位于所述有源層上方。

優(yōu)選地，所述輔助電極層的厚度小于主電極層的厚度。

優(yōu)選地，包括所述輔助電極層、所述第一防護(hù)電極層和所述主電極層的電極還包括第二防護(hù)電極層，所述第二防護(hù)電極層設(shè)置在所述主電極層下方。

作為本發(fā)明的第二個(gè)方面，提供一種陣列基板，所述陣列基板包括多個(gè)薄膜晶體管，其中，所述薄膜晶體管為本發(fā)明所提供的上述薄膜晶體管，所述陣列基板還包括多組電極線，多組電極線包括與所述柵電極同層設(shè)置的柵線和與所述源電極和所述漏電極同層設(shè)置的數(shù)據(jù)線，至少一組所述電極線包括從上至下依次層疊的輔助電極線層、第一防護(hù)電極線層和主電極線層，制成所述輔助電極線層的材料的活潑性大于制成所述第一防護(hù)電極線層的材料的活潑性，所述第一防護(hù)電極線層與同層設(shè)置的第一防護(hù)電極層材料相同，所述主電極線層與同層設(shè)置的主電極層材料相同。

作為本發(fā)明的第三個(gè)方面，提供一種顯示面板，所述顯示面板包括陣列基板，其中，所述陣列基板為本發(fā)明所提供的上述陣列基板。