[發明專利]高頻率大功率溝槽MOS場效應管及其制造方法在審
| 申請號： | 201610940226.9 | 申請日： | 2016-11-01 |
| 公開（公告）號： | CN106409912A | 公開（公告）日： | 2017-02-15 |
| 發明（設計）人： | 徐吉程;袁力鵬;范瑋 | 申請（專利權）人： | 西安后羿半導體科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L29/78 | 分類號： | H01L29/78;H01L29/40;H01L21/336 |
| 代理公司： | 廣州三環專利代理有限公司44202 | 代理人： | 郭永麗 |
| 地址： | 710018 陜西省西安市*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 頻率 大功率 溝槽 mos 場效應 及其 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
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