[發明專利]一種6英寸直拉重摻硅單晶無位錯生長工藝及其熱場系統有效
| 申請號： | 201610939973.0 | 申請日： | 2016-11-02 |
| 公開（公告）號： | CN106319619B | 公開（公告）日： | 2018-07-31 |
| 發明（設計）人： | 莫宇;李春龍;韓煥鵬;張睿;呂菲 | 申請（專利權）人： | 中國電子科技集團公司第四十六研究所 |
| 主分類號： | C30B15/14 | 分類號： | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津中環專利商標代理有限公司 12105 | 代理人： | 王鳳英 |
| 地址： | 300220*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 英寸 直拉重摻硅單晶無位錯 生長 工藝 及其 系統 | ||
【權利要求書】：
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