[發明專利]探針模塊

在審

• 申請號: 201610938487.7
• 申請日: 2016-10-25
• 公開（公告）號: CN106885927A
• 公開（公告）日: 2017-06-23
• 發明（設計）人: 顧偉正;何志浩;魏豪
• 申請（專利權）人: 旺矽科技股份有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司11021
• 代理人: 喬東峰

技術領域

本發明涉及電子對象的檢測，特別是一種探針模塊。

背景技術

按，探針模塊設置于一檢測機與一待測電子對象之間，用以傳送檢測機的檢測信號至待測電子對象，以檢測待測電子對象的各電子元件間的電性連接是否確實。

圖1與圖2所示者為現有的探針模塊1，包含一基座10、一結合座12、一信號接頭14、一電信號傳導件16與復數個探針18。該基座10供固定于一檢測機(圖未示)上。該結合座12結合于該基座10，且向下傾斜，該結合座12具有一前端面122以及一前端角124，該前端面122面對一待測電子對象，且該前端面122的延伸參考面122a與該待測電子對象A的待測面A01之間夾一銳角，該前端角124位于遠離該基座10的相對側的位置。該信號接頭14設置于該結合座12上。該電信號傳導件16設置于該結合座12中，該電信號傳導件16一端電性連接該信號接頭14，另一端穿出該前端面122且與該些探針18電性連接。由此，用戶即可由探針模塊1上方以顯微鏡或肉眼觀察到所述探針18的位置，方便將探針18點觸至該待測電子對象A的待測部位。

該探針模塊1于高頻測試時，其所附帶的微量電感將與信號傳輸路徑的長度成正比，信號傳輸路徑越長，因高頻信號而形成的電抗將越高，使得信號損耗增加。

為了減短信號傳輸的路徑，最直接的作法是減少電信號傳導件16的長度。然而，即使減少電信號傳導件16的長度，仍需讓用戶可由探針模塊1上方觀察到所述探針18的位置。礙于結構的限制，現有的探針模塊1部分的電信號傳導件16將會被該前端角124所遮蔽，使得電信號傳導件16縮短的程度有限。

發明內容

有鑒于此，本發明的目的用于提供一種探針模塊，可以縮短信號傳輸路徑的長度。

緣以達成上述目的，本發明所提供探針模塊，設置于一檢測機與一待測電子對象之間，用以接抵該待測電子對象的一待測面；該探針模塊包含一基座、一結合座、一信號接頭、一電信號傳導件與至少二探針，其中，該基座供固定于該檢測機；該結合座結合于該基座，該結合座具有一結合孔及一第一端面，該結合孔貫穿該結合座，該第一端面的一第一延伸參考面垂直于該待測電子對象的該待測面；該信號接頭設置于該結合座且位于該結合孔中，該信號接頭供電性連接至該檢測機，該信號接頭具有一信號傳導部以及一接地傳導部；該電信號傳導件呈桿狀，包含有一以導體制成的信號線、一包覆該信號線且以絕緣材料制成的絕緣層、以及一包覆該絕緣層且以導體制成的接地層；該信號線電性連接該信號傳導部，該接地層電性連接該接地傳導部；該至少二探針以導體制成，且供與該待測物的該待測面接抵；該二探針分別與該電信號傳導件一端的該信號線及該接地層電性連接；各該探針至少一部分由該結合座正下方伸出該第一延伸參考面。

本發明另提供一種探針模塊，設置于一檢測機與一待測電子對象之間，用以接抵該待測電子對象的一待測面；該探針模塊包含：一基座、一結合座、一信號接頭、一電信號傳導件、至少二探針與一反射鏡，其中，該基座供固定于該檢測機；該結合座結合于該基座，該結合座具有一結合孔，該結合孔貫穿該結合座；該信號接頭設置于該結合座且位于該結合孔中，該信號接頭供電性連接至該檢測機，該信號接頭具有一信號傳導部以及一接地傳導部；該電信號傳導件呈桿狀且位于該結合座的正投影范圍內，該電信號傳導件包含有一以導體制成的信號線、一包覆該信號線且以絕緣材料制成的絕緣層、以及一包覆該絕緣層且以導體制成的接地層；該信號線電性連接該信號傳導部，該接地層電性連接該接地傳導部；該至少二探針以導體制成，且供與該待測物的該待測面接抵；該二探針分別與該電信號傳導件一端的該信號線及該接地層電性連接；該二探針位于該結合座下方且位于該結合座的正投影范圍內；該反射鏡設置于該結合座的一側，該反射鏡具有一呈傾斜設置的反射面對應該二探針，該反射面將該二探針的影像向上反射。