[發明專利]壓電薄膜傳感器制備方法

有效

• 申請號: 201610937371.1
• 申請日: 2016-11-01
• 公開（公告）號: CN108023013B
• 公開（公告）日: 2021-02-26
• 發明（設計）人: 李彥坤
• 申請（專利權）人: 蘇州貝骨新材料科技有限公司
• 主分類號: H01L41/22
• 分類號: H01L41/22;H01L41/25;H01L41/27;H01L41/29
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司 31253
• 代理人: 黃佳麗

本發明提供一種壓電薄膜傳感器制備方法，在壓電薄膜傳感器的復合層制備過程中，在任意一層中制備定位標記；以定位標記為基準，在復合層上打定位孔；在套位模切時，模切模板具有定位組件，與定位孔一一對應，模切刀線將所述壓電薄膜傳感器的復合層半斷和/或全斷模切；接端子形成壓電薄膜傳感器元件。其優點在于在定位孔的精確定位下，通過套位模切將接線端子上的部分材質切除，方便接線端子安裝。

技術領域

本發明涉及一種壓電薄膜傳感器的制備方法，特別涉及一種壓電薄膜傳感器卷對卷制造方法。

背景技術

壓電薄膜傳感器元件可以嵌入鞋子等穿戴產品測量運動者的力學數據，或者應用于手機、家電等觸控按鍵或鍵盤，是未來智能可穿戴和智能手機和家電的重要傳感器件。目前，制造外觀尺寸精度較高的小型壓電薄膜傳感器常常采用片材加工工藝，這樣增加了較多人工成本。此外，壓電薄膜傳感器正電極和接地電極需要在垂直投影面形成相互錯位，以采用刺穿端子鉚接，給制造環節增加了困難。

中國專利CN20140383801.0介紹了一種壓電駐極體薄膜元件的加工方法，該方法采用片材加工方式：在絕緣保護膜上設置導電電極，然后在非感應區和感應區分別設置壓敏膠，在非感應區將正導電電極和接地導電電極接口錯位對好位粘合，最后在感應區設置壓電駐極體薄膜，形成壓電駐極體薄膜元件。該方法中在進行非感應區錯位粘合時，需要人工對位，不僅浪費了大量人工，而且對位精度不高，造成電極層和傳感器元件外形相互偏移誤差較大。

中國專利CN201610265705.5介紹了一種長條狀壓電薄膜傳感器卷對卷制造方法，該方法將多個重復設置傳感器傾斜設置，并且使傳感器正電極端口在邊緣露出，實現了壓電薄膜傳感器正電極和接地電極在垂直投影面形成相互錯位的目的。但是實際上有些壓電薄膜傳感器(比如用于觸控按鍵、智能鞋等)尺寸較小，尺寸屬于圓形或方形，端口數量較多。采用本方法不容易實現壓電薄膜傳感器正電極和接地電極在垂直投影面形成相互錯位的目的。

發明內容

本發明提供一種壓電薄膜傳感器制備方法，克服現有技術的缺陷，解決上述問題。

本發明提供一種壓電薄膜傳感器制備方法，具有以下步驟：

步驟A、在壓電薄膜傳感器的復合膜制備過程中，在任意一層中制備定位標記；

步驟B、以定位標記為基準，在復合層上打定位孔；

步驟C、在套位模切時，模切模板具有定位組件，與定位孔一一對應，模切刀線將所述壓電薄膜傳感器的復合層半斷和/或全斷模切；

步驟D、接端子形成壓電薄膜傳感器元件。

進一步，本發明提供一種壓電薄膜傳感器制備方法，還具有這樣的特征：套位模切的模具包括上下兩個模板，其中一個模板具有半斷刀線，半斷刀線的切割深度為需要切除壓電薄膜傳感器的復合層部分層數的厚度；壓電薄膜傳感器的復合層放置在兩個模板之間，半斷刀線只切斷部分復合層。

進一步，本發明提供一種壓電薄膜傳感器制備方法，還具有這樣的特征：模板上還具有全斷刀線，將壓電薄膜傳感器全部切斷。

進一步，本發明提供一種壓電薄膜傳感器制備方法，還具有這樣的特征：模板上還具有全斷刀線，將壓電薄膜傳感器全部切斷，在切斷部分復合層的同時將卷對卷的復合層切成單個復合層。

進一步，本發明提供一種壓電薄膜傳感器制備方法，還具有這樣的特征：另一模板上也具有半斷刀線，半斷刀線的切割深度為需要切除壓電薄膜傳感器的復合層部分層數的厚度，切斷另一側的部分復合層。

進一步，本發明提供一種壓電薄膜傳感器制備方法，還具有這樣的特征：一個模板具有定位柱，另一個模板具有定位槽；套位模切時，定位柱穿過壓電薄膜傳感器的復合層上的定位孔，再插入定位槽。