[發明專利]一種薄膜厚度測量方法及系統有效
| 申請號： | 201610936317.5 | 申請日： | 2016-11-01 |
| 公開（公告）號： | CN106441125B | 公開（公告）日： | 2019-03-19 |
| 發明（設計）人： | 程菊;邊心田;雷楓 | 申請（專利權）人： | 淮陰師范學院 |
| 主分類號： | G01B11/06 | 分類號： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京捷誠信通專利事務所(普通合伙) 11221 | 代理人： | 王衛東 |
| 地址： | 223300 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 薄膜 厚度 測量方法 系統 | ||
【說明書】：
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