[發明專利]光學元件六自由度微位移調節裝置、投影物鏡和光刻機有效
| 申請號： | 201610929894.1 | 申請日： | 2016-10-31 |
| 公開（公告）號： | CN106338805B | 公開（公告）日： | 2019-02-05 |
| 發明（設計）人： | 張德福;李顯凌;倪明陽;隋永新;楊懷江 | 申請（專利權）人： | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 |
| 主分類號： | G02B7/00 | 分類號： | G02B7/00;G02B7/02;G03B21/14 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 任巖 |
| 地址： | 130033 *** | 國省代碼： | 吉林;22 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光學 元件 自由度 位移 調節 裝置 投影 物鏡 光刻 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中國科學院長春光學精密機械與物理研究所，未經中國科學院長春光學精密機械與物理研究所許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610929894.1/2.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：基于郵件用戶行為的發件人信譽生成方法
- 下一篇：信息的糾正方法、系統及裝置
