[發明專利]等離子體透鏡、空氣軸承、飛行頭、納米加工系統及應用有效
| 申請號： | 201610926129.4 | 申請日： | 2016-10-24 |
| 公開（公告）號： | CN106680906B | 公開（公告）日： | 2019-05-28 |
| 發明（設計）人： | 孟永鋼;胡躍強;紀佳馨;王鴻棟 | 申請（專利權）人： | 清華大學 |
| 主分類號： | G02B3/00 | 分類號： | G02B3/00;F16C32/06;B82B3/00;B82Y40/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 李志東 |
| 地址： | 10008*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 等離子體 透鏡 空氣 軸承 飛行 納米 加工 系統 應用 | ||
【說明書】：
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