[發明專利]一種基于數據采集卡的多振幅交流偏置探針等離子體診斷方法在審
| 申請號： | 201610925891.0 | 申請日： | 2016-10-31 |
| 公開（公告）號： | CN106413237A | 公開（公告）日： | 2017-02-15 |
| 發明（設計）人： | 陸文琪;白玉靜;徐軍 | 申請（專利權）人： | 大連理工大學 |
| 主分類號： | H05H1/00 | 分類號： | H05H1/00 |
| 代理公司： | 大連理工大學專利中心21200 | 代理人： | 梅洪玉 |
| 地址： | 116024 遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 數據 采集 振幅 交流 偏置 探針 等離子體 診斷 方法 | ||
【說明書】：
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