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[發明專利]一種肖特基半導體裝置在審

專利信息
申請號: 201610925635.1 申請日: 2016-10-30
公開(公告)號: CN108022974A 公開(公告)日: 2018-05-11
發明(設計)人: 朱江 申請(專利權)人: 朱江
主分類號: H01L29/78 分類號: H01L29/78;H01L29/06
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 113200 遼*** 國省代碼: 遼寧;21
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 肖特基 半導體 裝置
【權利要求書】:

1.一種肖特基半導體裝置,其特征在于:包括:

襯底層,為第一導電半導體材料;

漂移層,為第一導電半導體材料,位于襯底層之上;多個

溝槽,位于漂移層和襯底中,溝槽側壁設置絕緣層,溝槽底部沒有絕緣層;

導電材料,位于溝槽底部,為金屬,或者為高濃度雜質摻雜的多晶硅或無定形硅,此時導電材料下部為第一導電雜質摻雜,導電材料上部為第二導電雜質摻雜;

溝槽下部半導體材料,位于溝槽內下部,導電材料之上,上下依次為第一導電半導體材料和第二導電半導體材料;

溝槽上部半導體材料,位于溝槽內上部,上下依次為第一導電半導體材料和第二導電半導體材料;

肖特基勢壘結,位于溝槽之間漂移層表面。

2.如權利要求1所述的半導體裝置,其特征在于:所述的金屬與溝槽下部半導體材料為歐姆接觸。

3.如權利要求1所述的半導體裝置,其特征在于:所述的溝槽下部第二導電半導體材料為通過導電材料雜質擴散形成。

4.如權利要求1所述的半導體裝置,其特征在于:所述的溝槽上部半導體材料,在溝槽表面,為第一導電半導體材料和第二導電半導體材料橫向交替排列。

5.如權利要求1所述的半導體裝置,其特征在于:半導體裝置表面設置電極金屬,連接肖特基勢壘結和溝槽上部半導體材料。

6.一種肖特基半導體裝置,其特征在于:包括:

襯底層,為第二導電半導體材料;

導電材料,位于襯底層上部,為金屬,或者為高濃度雜質摻雜的多晶硅或無定形硅,此時導電材料下部為第二導電雜質摻雜,導電材料上部為第一導電雜質摻雜;

漂移層,為第一導電半導體材料,位于導電材料之上;多個

溝槽,位于漂移層到襯底中,溝槽側壁設置絕緣層,溝槽底部沒有絕緣層;

溝槽下部半導體材料,位于溝槽內下部,上下依次為第一導電半導體材料和第二導電半導體材料;

溝槽上部半導體材料,位于溝槽內上部,上下依次為第一導電半導體材料和第二導電半導體材料;

肖特基勢壘結,位于溝槽之間漂移層表面。

7.如權利要求6所述的半導體裝置,其特征在于:所述的金屬與襯底層和漂移層為歐姆接觸。

8.如權利要求6所述的半導體裝置,其特征在于:所述的溝槽下部第二導電半導體材料為通過襯底層雜質擴散形成。

9.如權利要求6所述的半導體裝置,其特征在于:所述的溝槽上部半導體材料,在溝槽表面,為第一導電半導體材料和第二導電半導體材料橫向交替排列。

10.如權利要求6所述的半導體裝置,其特征在于:半導體裝置表面設置電極金屬,連接肖特基勢壘結和溝槽上部半導體材料。

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