1.一種肖特基半導體裝置,其特征在于:包括:
襯底層,為第一導電半導體材料;
漂移層,為第一導電半導體材料,位于襯底層之上;多個
溝槽,位于漂移層和襯底中,溝槽側壁設置絕緣層,溝槽底部沒有絕緣層;
導電材料,位于溝槽底部,為金屬,或者為高濃度雜質摻雜的多晶硅或無定形硅,此時導電材料下部為第一導電雜質摻雜,導電材料上部為第二導電雜質摻雜;
溝槽下部半導體材料,位于溝槽內下部,導電材料之上,上下依次為第一導電半導體材料和第二導電半導體材料;
溝槽上部半導體材料,位于溝槽內上部,上下依次為第一導電半導體材料和第二導電半導體材料;
肖特基勢壘結,位于溝槽之間漂移層表面。
2.如權利要求1所述的半導體裝置,其特征在于:所述的金屬與溝槽下部半導體材料為歐姆接觸。
3.如權利要求1所述的半導體裝置,其特征在于:所述的溝槽下部第二導電半導體材料為通過導電材料雜質擴散形成。
4.如權利要求1所述的半導體裝置,其特征在于:所述的溝槽上部半導體材料,在溝槽表面,為第一導電半導體材料和第二導電半導體材料橫向交替排列。
5.如權利要求1所述的半導體裝置,其特征在于:半導體裝置表面設置電極金屬,連接肖特基勢壘結和溝槽上部半導體材料。
6.一種肖特基半導體裝置,其特征在于:包括:
襯底層,為第二導電半導體材料;
導電材料,位于襯底層上部,為金屬,或者為高濃度雜質摻雜的多晶硅或無定形硅,此時導電材料下部為第二導電雜質摻雜,導電材料上部為第一導電雜質摻雜;
漂移層,為第一導電半導體材料,位于導電材料之上;多個
溝槽,位于漂移層到襯底中,溝槽側壁設置絕緣層,溝槽底部沒有絕緣層;
溝槽下部半導體材料,位于溝槽內下部,上下依次為第一導電半導體材料和第二導電半導體材料;
溝槽上部半導體材料,位于溝槽內上部,上下依次為第一導電半導體材料和第二導電半導體材料;
肖特基勢壘結,位于溝槽之間漂移層表面。
7.如權利要求6所述的半導體裝置,其特征在于:所述的金屬與襯底層和漂移層為歐姆接觸。
8.如權利要求6所述的半導體裝置,其特征在于:所述的溝槽下部第二導電半導體材料為通過襯底層雜質擴散形成。
9.如權利要求6所述的半導體裝置,其特征在于:所述的溝槽上部半導體材料,在溝槽表面,為第一導電半導體材料和第二導電半導體材料橫向交替排列。
10.如權利要求6所述的半導體裝置,其特征在于:半導體裝置表面設置電極金屬,連接肖特基勢壘結和溝槽上部半導體材料。