[發(fā)明專利]一種細(xì)長管射頻感應(yīng)耦合等離子體源反應(yīng)器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610924887.2 | 申請日： | 2016-10-24 |
| 公開（公告）號： | CN106304596B | 公開（公告）日： | 2018-11-20 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 高飛;王友年 | 申請（專利權(quán)）人： | 大連理工大學(xué) |
| 主分類號： | H05H1/30 | 分類號： | H05H1/30 |
| 代理公司： | 北京高沃律師事務(wù)所 11569 | 代理人： | 王加貴 |
| 地址： | 116000 遼寧省大連市高*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 細(xì)長 射頻 感應(yīng) 耦合 等離子體 反應(yīng)器 | ||
【權(quán)利要求書】：
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