[發(fā)明專利]用于歐姆尼探針的修針裝置以及修歐姆尼探針修針方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610924540.8 | 申請日： | 2016-10-24 |
| 公開（公告）號： | CN106540928A | 公開（公告）日： | 2017-03-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 宋箭葉;倪棋梁;龍吟;顧曉芳 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | B08B7/00 | 分類號： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 歐姆 探針 裝置 以及 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
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