[發(fā)明專(zhuān)利]一種含碳化硅納米粒子薄膜材料的制備方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610924072.4 | 申請(qǐng)日: | 2016-10-24 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN106498364A | 公開(kāi)(公告)日: | 2017-03-15 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 姜禮華;譚新玉;向鵬;肖婷 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 三峽大學(xué) |
| 主分類(lèi)號(hào): | C23C16/32 | 分類(lèi)號(hào): | C23C16/32;C23C16/505 |
| 代理公司: | 宜昌市三峽專(zhuān)利事務(wù)所42103 | 代理人: | 蔣悅 |
| 地址: | 443002*** | 國(guó)省代碼: | 湖北;42 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 碳化硅 納米 粒子 薄膜 材料 制備 方法 | ||
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- 同類(lèi)專(zhuān)利
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C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面擴(kuò)散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過(guò)氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆,例如化學(xué)氣相沉積
C23C16-01 .在臨時(shí)基體上,例如在隨后通過(guò)浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無(wú)機(jī)材料為特征的





