[發(fā)明專利]一種適用于表面紋理的3D光刻工藝在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610923531.7 | 申請日: | 2016-10-22 |
| 公開(公告)號: | CN106406024A | 公開(公告)日: | 2017-02-15 |
| 發(fā)明(設計)人: | 楊文舉;曾關文;韋東 | 申請(專利權)人: | 楊文舉 |
| 主分類號: | G03F7/00 | 分類號: | G03F7/00 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 730699 甘肅省*** | 國省代碼: | 甘肅;62 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 適用于 表面 紋理 光刻 工藝 | ||
【說明書】:
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