[發明專利]微電子機械系統壓力傳感器及其制造方法在審
| 申請號： | 201610919302.8 | 申請日： | 2016-10-21 |
| 公開（公告）號： | CN106966355A | 公開（公告）日： | 2017-07-21 |
| 發明（設計）人： | 陳東村;朱家驊 | 申請（專利權）人： | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | B81B3/00 | 分類號： | B81B3/00;B81B7/00;B81C1/00;G01L9/12 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知識產權代理有限公司11409 | 代理人： | 章社杲,李偉 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微電子 機械 系統 壓力傳感器 及其 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種微電子機械系統(MEMS)壓力傳感器，包括：
第一襯底；
第二襯底，平行于所述第一襯底；以及
感測結構，位于所述第一襯底和所述第二襯底之間，并且接合至所述第一襯底的部分和所述第二襯底的部分，其中，所述第一襯底和所述感測結構之間的第一間隔與外側連通，并且所述第二襯底和所述感測結構之間的第二間隔與外側連通或隔離。
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