[發明專利]氟化釔噴涂材料、氧氟化釔沉積的制品和制備方法有效
| 申請號: | 201610918492.1 | 申請日: | 2016-10-21 |
| 公開(公告)號: | CN106609347B | 公開(公告)日: | 2021-06-08 |
| 發明(設計)人: | 高井康;浜谷典明 | 申請(專利權)人: | 信越化學工業株式會社 |
| 主分類號: | C23C4/04 | 分類號: | C23C4/04;C23C4/134 |
| 代理公司: | 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038 | 代理人: | 杜麗利 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 氟化 噴涂 材料 沉積 制品 制備 方法 | ||
1.用于制備氟化釔噴涂材料的方法,所述氟化釔噴涂材料包含Y5O4F7和YF3,所述Y5O4F7和YF3由30至90重量%的Y5O4F7和余量的YF3組成,并且所述噴涂材料具有10至60μm的平均粒度D50和1.2至2.5g/cm3的堆積密度,其中所述方法包括以下步驟:混合10至50重量%的具有0.01至3μm的平均粒度的氧化釔與余量的具有0.01至3μm的平均粒度的式(YF3)3NH4F·H2O的氟化銨絡合物鹽,造粒和燒制。
2.權利要求1的方法,其中所述氟化釔噴涂材料不含Y2O3。
3.權利要求1的方法,其中所述氟化釔噴涂材料中含有的Y5O4F7和YF3的總量為至少90重量%。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C4-00 熔融態覆層材料噴鍍法,例如火焰噴鍍法、等離子噴鍍法或放電噴鍍法的鍍覆
C23C4-02 .待鍍材料的預處理,例如為了在選定的表面區域鍍覆
C23C4-04 .以鍍覆材料為特征的
C23C4-12 .以噴鍍方法為特征的
C23C4-18 .后處理
C23C4-14 ..用于長形材料的鍍覆





