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[發明專利]氟化釔噴涂材料、氧氟化釔沉積的制品和制備方法有效

專利信息
申請號: 201610918492.1 申請日: 2016-10-21
公開(公告)號: CN106609347B 公開(公告)日: 2021-06-08
發明(設計)人: 高井康;浜谷典明 申請(專利權)人: 信越化學工業株式會社
主分類號: C23C4/04 分類號: C23C4/04;C23C4/134
代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038 代理人: 杜麗利
地址: 日本*** 國省代碼: 暫無信息
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 氟化 噴涂 材料 沉積 制品 制備 方法
【權利要求書】:

1.用于制備氟化釔噴涂材料的方法,所述氟化釔噴涂材料包含Y5O4F7和YF3,所述Y5O4F7和YF3由30至90重量%的Y5O4F7和余量的YF3組成,并且所述噴涂材料具有10至60μm的平均粒度D50和1.2至2.5g/cm3的堆積密度,其中所述方法包括以下步驟:混合10至50重量%的具有0.01至3μm的平均粒度的氧化釔與余量的具有0.01至3μm的平均粒度的式(YF3)3NH4F·H2O的氟化銨絡合物鹽,造粒和燒制。

2.權利要求1的方法,其中所述氟化釔噴涂材料不含Y2O3

3.權利要求1的方法,其中所述氟化釔噴涂材料中含有的Y5O4F7和YF3的總量為至少90重量%。

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