[發明專利]非制冷焦平面探測器低溫激活薄膜吸氣劑及其制備方法有效
| 申請號: | 201610916723.5 | 申請日: | 2016-10-21 |
| 公開(公告)號: | CN106399951B | 公開(公告)日: | 2018-12-28 |
| 發明(設計)人: | 袁俊;趙鵬;黎秉哲;何雯瑾;信思樹;蘇玉輝;龔曉霞;普朝光;莫鏡輝 | 申請(專利權)人: | 云南北方昆物光電科技發展有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/30 | 分類號: | C23C14/30;C23C14/14;H01L31/09;H01L31/0216 |
| 代理公司: | 北京理工大學專利中心 11120 | 代理人: | 仇蕾安 |
| 地址: | 650000 云南*** | 國省代碼: | 云南;53 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 制冷 平面 探測器 低溫 激活 薄膜 吸氣 及其 制備 方法 | ||
【說明書】:
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