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[發明專利]非制冷焦平面探測器低溫激活薄膜吸氣劑及其制備方法有效

專利信息
申請號: 201610916723.5 申請日: 2016-10-21
公開(公告)號: CN106399951B 公開(公告)日: 2018-12-28
發明(設計)人: 袁俊;趙鵬;黎秉哲;何雯瑾;信思樹;蘇玉輝;龔曉霞;普朝光;莫鏡輝 申請(專利權)人: 云南北方昆物光電科技發展有限公司
主分類號: C23C14/30 分類號: C23C14/30;C23C14/14;H01L31/09;H01L31/0216
代理公司: 北京理工大學專利中心 11120 代理人: 仇蕾安
地址: 650000 云南*** 國省代碼: 云南;53
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 制冷 平面 探測器 低溫 激活 薄膜 吸氣 及其 制備 方法
【說明書】:
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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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