[發明專利]一種液晶顯示器面板制造中的周邊曝光方法

有效

• 申請號: 201610913587.4
• 申請日: 2016-10-20
• 公開（公告）號: CN106249553B
• 公開（公告）日: 2018-03-13
• 發明（設計）人: 王強;趙輝;沙雙慶;金楊林
• 申請（專利權）人: 南京華東電子信息科技股份有限公司;南京中電熊貓平板顯示科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02F1/1333
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙)32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種液晶顯示器面板制造中的周邊曝光方法，包括通過掩膜版的周邊區域進行曝光使母基板上形成N層薄膜周邊圖案，其中N≥3，其特征在于，N層薄膜由深色材料膜層和淺色材料膜層組成，第1層薄膜周邊圖案為衡量標尺；第2～N層中，上下相鄰的淺色材料膜層構成淺色材料膜層組，所述的淺色材料膜層組中至少有兩層周邊圖案位置部分重合或全部重合，深色材料膜層周邊圖案與其上方的任意一層淺色材料膜層周邊圖案位置不重合，任意兩個深色材料膜層周邊圖案位置不重合；深色材料為金屬材料，淺色材料為非金屬材料。

2.根據權利要求1所述的周邊曝光方法，其特征在于，第1層薄膜周邊圖案與其他任意層薄膜周邊圖案位置不重合。

3.根據權利要求1所述的周邊曝光方法，其特征在于，深色材料膜層周邊圖案與其下方的淺色材料膜層周邊圖案位置部分重合或全部重合。

4.根據權利要求1所述的周邊曝光方法，其特征在于，不同的淺色材料膜層組的周邊圖案位置不重合。

5.根據權利要求1所述的周邊曝光方法，其特征在于，每個淺色材料膜層組的層數≤6，所有的淺色材料膜層周邊圖案位置部分重合或全部重合。

6.根據權利要求1所述的周邊曝光方法，其特征在于，每個淺色材料膜層組的層數＞6，將淺色材料膜層組順次分成多個子組，每個子組的層數不超過6層，每個子組中，所有的淺色材料膜層周邊圖案位置部分重合或全部重合，不同子組之間的周邊圖案位置不重合。

7.根據權利要求1所述的周邊曝光方法，其特征在于，第2～N層薄膜周邊圖案為線性圖案。

8.根據權利要求7所述的周邊曝光方法，其特征在于，金屬材料為合金，非金屬材料為金屬氧化物、單晶硅、硅化合物、磷化合物或硒化合物。