[發(fā)明專(zhuān)利]一種六通道分振幅高速斯托克斯偏振儀及其參數(shù)測(cè)量方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610910832.6
• 申請(qǐng)日: 2016-10-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106500844B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-12-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 江浩;陳偉;劉佳敏;劉世元;張傳維
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 武漢頤光科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01J4/04
• 分類(lèi)號(hào): G01J4/04
• 代理公司: 武漢東喻專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙)42224
• 代理人: 宋業(yè)斌

1.一種六通道分振幅高速斯托克斯偏振儀，其特征在于，包括：光收集模塊，第一分束器(40)，第二分束器(41)，1/4波片(50)，第一偏振分束器(60)，第二偏振分束器(61)，第三偏振分束器(62)，第一光纖準(zhǔn)直器(70)，第二光纖準(zhǔn)直器(71)，第三光纖準(zhǔn)直器(72)，第四光纖準(zhǔn)直器(73)，第五光纖準(zhǔn)直器(74)，第六光纖準(zhǔn)直器(75)，1/2波片(80)，第一光電倍增管(90)，第二光電倍增管(91)，第三光電倍增管(92)，第四光電倍增管(93)，第五光電倍增管(94)，第六光電倍增管(95)，第一放大器(110)，第二放大器(111)，第三放大器(112)，第四放大器(113)，第五放大器(114)，第六放大器(115)，示波器(120)和數(shù)據(jù)處理模塊(140)；

所述光收集模塊用于將待測(cè)樣品表面散射或反射的信號(hào)光準(zhǔn)直為平行光；

所述第一分束器(40)設(shè)置在所述光收集模塊的輸出光路上，用于將所述平行光分為第一反射光和第一透射光；

所述第二分束器(41)設(shè)置在所述第一分束器(40)的透射光路上，用于將所述第一透射光分為第二反射光和第二透射光；

所述第一偏振分束器(60)設(shè)置在所述第一分束器(40)的反射光路上，用于將所述第一反射光分為第三反射光和第三透射光；

所述第一光纖準(zhǔn)直器(70)的輸入端接收所述第三反射光，所述第一光纖準(zhǔn)直器(70)的輸出端依次通過(guò)所述第一光電倍增管(90)和第一放大器(110)連接至所述示波器(120)的第一輸入端；

所述第二光纖準(zhǔn)直器(71)的輸入端接收所述第三透射光，所述第二光纖準(zhǔn)直器(71)的輸出端依次通過(guò)所述第二光電倍增管(91)和第二放大器(111)連接至所述示波器(120)的第二輸入端；

所述1/2波片(80)和所述第二偏振分束器(61)依次設(shè)置在所述第二分束器(41)的反射光路上，所述第二偏振分束器(61)用于將所述第二反射光分為第四反射光和第四透射光；

所述第三光纖準(zhǔn)直器(72)的輸入端接收所述第四反射光，所述第三光纖準(zhǔn)直器(72)的輸出端依次通過(guò)所述第三光電倍增管(92)和第三放大器(112)連接至所述示波器(120)的第三輸入端；

所述第四光纖準(zhǔn)直器(73)的輸入端接收所述第四透射光，所述第四光纖準(zhǔn)直器(73)的輸出端依次通過(guò)所述第四光電倍增管(93)和第四放大器(113)連接至所述示波器(120)的第四輸入端；

所述1/4波片(50)和第三偏振分束器(62)依次設(shè)置在所述第二分束器(41)的透射光路上，所述第三偏振分束器(62)用于將所述第二透射光分為第五反射光和第五透射光；

所述第五光纖準(zhǔn)直器(74)的輸入端接收所述第五反射光，所述第五光纖準(zhǔn)直器(74)的輸出端依次通過(guò)所述第五光電倍增管(94)和第五放大器(114)連接至所述示波器(120)的第五輸入端；

所述第六光纖準(zhǔn)直器(75)的輸入端接收所述第五透射光，所述第六光纖準(zhǔn)直器(75)的輸出端依次通過(guò)所述第六光電倍增管(95)和第六放大器(115)連接至所述示波器(120)的第六輸入端；

所述數(shù)據(jù)處理模塊(140)與所述示波器(120)的輸出端連接，用于對(duì)所述示波器(120)輸出的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理后獲得待測(cè)光的斯托克斯向量。

2.如權(quán)利要求1所述的六通道分振幅高速斯托克斯偏振儀，其特征在于，所述光收集模塊包括：會(huì)聚透鏡(10)，孔徑光闌(20)和準(zhǔn)直透鏡(30)，所述孔徑光闌(20)設(shè)置在所述會(huì)聚透鏡(10)的焦點(diǎn)和所述準(zhǔn)直透鏡(30)的焦點(diǎn)處。

3.如權(quán)利要求2所述的六通道分振幅高速斯托克斯偏振儀，其特征在于，測(cè)量面與待測(cè)樣品的相應(yīng)出射面是重合的，且待測(cè)樣品測(cè)量區(qū)域中心與所述會(huì)聚透鏡(10)之間的距離大于1倍焦距。