[發明專利]一種低熱阻、抗輻照的納米多層薄膜材料及其制備方法有效
| 申請號： | 201610908041.X | 申請日： | 2016-10-18 |
| 公開（公告）號： | CN106350771B | 公開（公告）日： | 2019-07-23 |
| 發明（設計）人： | 肖湘衡;司書堯;趙曉龍;李文慶;蔣昌忠 | 申請（專利權）人： | 武漢大學 |
| 主分類號： | C23C14/18 | 分類號： | C23C14/18;C23C14/35;C23C28/00;C23C16/01;C23C16/26 |
| 代理公司： | 湖北武漢永嘉專利代理有限公司 42102 | 代理人： | 唐萬榮;張秋燕 |
| 地址： | 430072 湖北省*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 低熱 輻照 納米 多層 薄膜 材料 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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