[發明專利]激光加工裝置在審
| 申請號： | 201610907385.9 | 申請日： | 2016-10-18 |
| 公開（公告）號： | CN106583931A | 公開（公告）日： | 2017-04-26 |
| 發明（設計）人： | 吉井俊悟;九鬼潤一;相田花菜 | 申請（專利權）人： | 株式會社迪思科 |
| 主分類號： | B23K26/362 | 分類號： | B23K26/362;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司11127 | 代理人： | 李輝,于靖帥 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 激光 加工 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種激光加工裝置，其使激光光線透過對卡盤工作臺上所保持的板狀工件的上表面進行保護的水溶性保護膜而照射至板狀工件的上表面而進行燒蝕加工，其特征在于，
該激光加工裝置具有：
聚光器，其對激光光線進行聚光；以及
加工噴嘴，其使借助該聚光器而聚光的激光光線與板狀工件的上表面垂直地照射，并將從板狀工件飛散的碎片從板狀工件的上表面去除，
該加工噴嘴包含：
激光通過口，其使借助該聚光器而聚光的激光光線通過并使該激光光線與板狀工件的上表面垂直地照射；以及
碎片去除單元，其將因通過了該激光通過口的激光光線的照射而從板狀工件飛散的碎片去除，
該碎片去除單元具有：
碎片捕獲腔室，其由上壁、側壁以及下壁構成，在該上壁中配設該激光通過口，該側壁從該上壁垂下，該下壁與該上壁對置并且具有捕獲碎片的開口；
吸引口，其將該碎片捕獲腔室與吸引源連通；以及
空氣噴射口，其在與通過該激光通過口的激光光線的光路垂直的方向上在該激光通過口與該開口的范圍中橫穿并朝向該吸引口噴射空氣，
從該空氣噴射口噴射空氣，并從該吸引口對碎片進行吸引并去除。
2.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其中，
從該空氣噴射口噴射的空氣以500m/sec至600m/sec的流速被噴射。
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