[發(fā)明專利]基于微分干涉的光學薄膜缺陷檢測方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610905495.1 | 申請日： | 2016-10-18 |
| 公開（公告）號： | CN106501266B | 公開（公告）日： | 2018-05-29 |
| 發(fā)明（設計）人： | 邊心田;雷楓 | 申請（專利權(quán)）人： | 淮陰師范學院 |
| 主分類號： | G01N21/88 | 分類號： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京捷誠信通專利事務所(普通合伙) 11221 | 代理人： | 王衛(wèi)東 |
| 地址： | 223300 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 微分干涉 光學薄膜 平面光波 光學薄膜表面 內(nèi)部缺陷 缺陷檢測 準直透鏡 出射光 平行 圖像 工廠生產(chǎn)線 光電探測器 受外界環(huán)境 立體感 反光特性 檢測結(jié)果 清晰圖像 柱狀透鏡 背景光 上表面 下表面 檢測 光欄 入射 光源 成像 分辨 垂直 分析 | ||
【權(quán)利要求書】：
下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于淮陰師范學院，未經(jīng)淮陰師范學院許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610905495.1/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 同類專利
- 專利分類
