[發明專利]一種掩膜版固定系統在審
| 申請號： | 201610901000.8 | 申請日： | 2016-10-17 |
| 公開（公告）號： | CN106444294A | 公開（公告）日： | 2017-02-22 |
| 發明（設計）人： | 祖延雷;于世瑞;陳權 | 申請（專利權）人： | 上海華力集成電路制造有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吳世華;陳慧弘 |
| 地址： | 201315 上海市自由貿*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 掩膜版 固定 系統 | ||
【權利要求書】：
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