[發明專利]具有匹配部及分析傳感器的一體型高頻常壓等離子發生裝置

有效

• 申請號: 201610898593.7
• 申請日: 2016-10-12
• 公開（公告）號: CN106851956B
• 公開（公告）日: 2019-08-06
• 發明（設計）人: 徐永撤
• 申請（專利權）人: 永信射頻電子有限公司
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 樸英淑

1.一種具有匹配部及分析傳感器的一體型高頻常壓等離子發生裝置，其特征在于，

在用于遮蔽內置有用于生成等離子的高頻常壓等離子頭的外殼的上部的上板上設置高頻輸入端和用于對向上述高頻輸入端輸入的高頻和阻抗進行匹配的匹配部，

作為上述匹配部的輸出的經匹配的高頻輸出通過附設于上述匹配部的分析傳感器，來檢測向上述高頻常壓等離子頭供給的高頻的電特性，

上述高頻常壓等離子頭為單高頻常壓等離子頭(10)，

上述匹配部為單頭單匹配部(60s)，

在上述單頭單匹配部(60s)中，供給面板(70)的高頻輸入連接器(701)與高頻同軸電纜(601)相連接，在上述高頻同軸電纜(601)的末端，上述高頻同軸電纜(601)的外皮借助接地桿(603)接地到匹配器下部板(640)，芯線與附著于第一可變電容器(606)后部面的第一后部面冷卻板(605)相連接，

使附著于上述第一可變電容器(606)后部面的第一后部面冷卻板(605)與附著于第二可變電容器(609)后部面的第二后部面冷卻板(608)相向，并借助導電體相連接，

通過與附著于上述第一可變電容器(606)的前部面的第一前部面冷卻板(607)相連接的U字型桿線圈(618)接地到上述匹配器下部板(640)，通過附著于上述第二可變電容器(609)的前部面的第二前部面冷卻板(610)與導電體支撐件(611)相連接，

上述導電體支撐件(611)與線圈(612)相連接，上述線圈(612)的相反側末端部分通過第一分析傳感器(616)，使上述單頭單匹配部(60s)的輸出通過電極引入導電體桿(17)向在匹配器下部板(640)的下方形成于上述單高頻常壓等離子頭(10)下部的等離子反應器供給高頻電。

2.根據權利要求1所述的具有匹配部及分析傳感器的一體型高頻常壓等離子發生裝置，其特征在于，

在上述單高頻常壓等離子頭(10)中，在頭本體(11)的左側剖面附著有用于防止氣體及冷卻介質泄漏的左側剖面塊(15)，在頭本體(11)的右側剖面附著有右側剖面塊(16)，上述右側剖面塊(16)用于通過電極引入導電體桿(17)向形成于上述單高頻常壓等離子頭(10)下部的等離子反應器供給高頻電，并防止氣體及冷卻介質泄漏，

在上述頭本體(11)的中央附著有使氣體向頭本體(11)的內部流動的氣體集合管(13)及氣體集合管流入口(12)，在上述頭本體(11)的右側上端分別附著有使冷卻介質循環的冷卻介質流入口(18a)及冷卻介質流出口(18b)。

3.根據權利要求1所述的具有匹配部及分析傳感器的一體型高頻常壓等離子發生裝置，其特征在于，

在上述匹配器下部板(640)，為了改變上述第一可變電容器(606)的容量，在第一可變電容器(606)的調節軸連結第一馬達(624)，為了改變上述第二可變電容器(609)的容量，在第二可變電容器(609)的調節軸連結第二馬達(625)，通過由安裝于上述單頭單匹配部(60s)的左側面(643)的控制板(620)對上述第一馬達(624)和上述第二馬達(625)的旋轉量進行控制，從而調節第一可變電容器(606)和第二可變電容器(609)的容量。

4.根據權利要求1所述的具有匹配部及分析傳感器的一體型高頻常壓等離子發生裝置，其特征在于，

在上述單頭單匹配部(60s)內，在線圈(612)與電極引入導電體桿(17)之間安裝第一分析傳感器(616)，上述第一分析傳感器(616)檢測根據基于工序條件釋放的等離子的特性發生變化的高頻電壓、高頻電流及相位，在使用內置于第一分析傳感器(616)的微程序對信號進行數據處理后，通過通信端口(704)向設置于外部的計算機傳輸數據。

5.根據權利要求4所述的具有匹配部及分析傳感器的一體型高頻常壓等離子發生裝置，其特征在于，在上述供給面板(70)附著有波形監視端口(705)，通過上述波形監視端口(705)與外部波形分析設備聯動分析波形特性。