[發明專利]金屬部件的加熱方法、接合方法以及金屬部件的加熱裝置

有效

• 申請號: 201610896351.4
• 申請日: 2016-10-14
• 公開（公告）號: CN106964890B
• 公開（公告）日: 2021-02-19
• 發明（設計）人: 長濱貴也;椎葉好一;井本吉紀
• 申請（專利權）人: 株式會社捷太格特
• 主分類號: B23K20/00
• 分類號: B23K20/00;B23K26/06;B23K26/20
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李洋;蘇琳琳

1.一種金屬部件的加熱方法，通過照射加熱用激光來加熱金屬部件，其中，具備：

氧化膜形成工序，在該工序中，在所述金屬部件的表面形成規定的膜厚的氧化膜；以及

加熱工序，在該工序中，經由所述氧化膜向所述金屬部件照射所述加熱用激光，使所述金屬部件以與所述氧化膜的所述規定的膜厚對應的吸收率吸收所照射的所述加熱用激光，從而將所述金屬部件加熱至規定的溫度，

在所述吸收率與所述氧化膜的膜厚的關系中，所述吸收率具有以下特性，即：具有相對于所述膜厚向增大方向的變化而交替地出現極大值與極小值的周期性，并且在所述氧化膜的膜厚為零的情況下最小，

在所述氧化膜形成工序中超過所述零而形成的所述氧化膜的所述規定的膜厚設定于第一范圍，在所述規定的膜厚與具有所述周期性的所述吸收率的關系中，所述第一范圍包含與所述氧化膜的膜厚超過所述零而所述吸收率首次作為所述極大值出現的第一極大值對應的第一極大膜厚、以及與在所述第一極大值之后所述吸收率再次作為所述極大值出現的第二極大值對應的第二極大膜厚，并且，所述第一范圍比第二極小膜厚小，其中，所述第二極小膜厚是與在所述第二極大值和在所述第二極大值之后所述吸收率再次作為所述極大值出現的第三極大值之間所述吸收率作為所述極小值出現的第二極小值對應的膜厚。

2.根據權利要求1所述的金屬部件的加熱方法，其中，

所述氧化膜的所述規定的膜厚設定于第二范圍或者第三范圍中的任一個，其中，所述第二范圍包含所述第一極大膜厚并且比第一極小膜厚小，其中，所述第一極小膜厚是與在所述第一極大值與所述第二極大值之間所述吸收率作為所述極小值出現的第一極小值對應的膜厚，所述第三范圍包含所述第二極大膜厚并且比所述第一極小膜厚大而比所述第二極小膜厚小。

3.根據權利要求1所述的金屬部件的加熱方法，其中，

所述金屬部件為銅，

在通過連續電化學還原法進行所述氧化膜的膜厚的測定的情況下，

所述氧化膜的所述規定的膜厚被設定于所述第一范圍亦即35nm～360nm之間。

4.根據權利要求2所述的金屬部件的加熱方法，其中，

所述金屬部件為銅，

在通過連續電化學還原法進行所述氧化膜的膜厚的測定的情況下，

所述氧化膜的所述規定的膜厚被設定于所述第二范圍亦即35nm～135nm之間或者所述第三范圍亦即165nm～360nm之間中的任一個。

5.根據權利要求1～4中任一項所述的金屬部件的加熱方法，其中，

在所述氧化膜形成工序中，

通過基于規定的照射條件向所述金屬部件的所述表面照射氧化膜形成用激光而形成所述氧化膜。

6.根據權利要求5所述的金屬部件的加熱方法，其中，

在所述氧化膜形成工序中，

向所述金屬部件的所述表面照射所述氧化膜形成用激光而在照射位置形成孔。

7.根據權利要求5所述的金屬部件的加熱方法，其中，

所述氧化膜形成用激光與所述加熱用激光為同種激光。

8.根據權利要求5所述的金屬部件的加熱方法，其中，

所述氧化膜形成用激光以及所述加熱用激光均為連續波。

9.根據權利要求5所述的金屬部件的加熱方法，其中，

所述氧化膜形成用激光為脈沖波，

所述加熱用激光為連續波。