[發明專利]超聲波圖像裝置

有效

• 申請號: 201610893521.3
• 申請日: 2016-10-13
• 公開（公告）號: CN106645415B
• 公開（公告）日: 2019-06-28
• 發明（設計）人: 游佐高廣;伊藤正一;北見薰;富田隆;長岡宏和
• 申請（專利權）人: 株式會社日立電力解決方案
• 主分類號: G01N29/06
• 分類號: G01N29/06;G01N29/22
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 史雁鳴

本發明的課題為超聲波圖像裝置檢測探針與工件的干擾，抑制所述探針或工件的損傷。其解決方案為，超聲波圖像裝置(1)配備有：利用超聲波將平面狀的工件(8)圖像化用的探針(4)、使探針(4)對工件(8)的面進行掃描的三軸掃描器(2)、檢測工件(8)和探針(4)的干擾的傳感器(3)。

技術領域

本發明涉及具有探針干擾檢測功能的超聲波圖像裝置。

背景技術

過去，在超聲波圖像裝置(SAT：Scanning Acoustic Tomograph：超聲波斷層掃描攝影裝置)中，在水中設置半導體或集成電路等作為被檢測體的平面狀的工件，一邊使被稱為探針的超聲波發送接受傳感器沿著該工件的表面進行掃描一邊進行由超聲波實施的測定。借此，可以研究工件有沒有缺陷(剝離或空隙)。

工件與探針的距離隨條件而變化，例如，有時會接近于毫米量級以下，這時，探針和工件會產生干擾。在發生了這種干擾的情況下，存在著擔心會對工件及探針造成損傷的問題。

專利文獻1記載的發明，是檢測這樣的探針的碰撞，使掃描停止的發明。在專利文獻1的摘要中記載了“在具有超聲波測定用的探針1、探針1的保持器2、使保持器在三個方向上移動等的掃描器3+4，利用掃描器3、4使探針1移動來進行超聲波測定的超聲波測定裝置中，配備有感應伸縮兩個方面的應變的兩個應變傳感器31、32、以及根據傳感器31、32的狀態等產生掃描器3+4的動作停止用的檢測信號A的檢測電路260，這些傳感器31、32以在保持器2的中間部分的外表面大致相互正交的兩個面作為各自的安裝面，并且，被分別以對與這些安裝面兩者大致平行的方向上的應變進行感應的方向進行安裝?！?/p>

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開平7－103951號公報

發明內容

發明所要解決的課題

在專利文獻1記載的發明中，通過利用應變傳感器檢測超聲波探針的側面方向的應變，檢測出工件和探針的干擾。但是，近年來，由于超聲波探針的掃描速度極快，所以，必須考慮由水引起的側面方向的應力。即，當用超聲波探針掃描時，由于水的應力而產生側面方向的應變，存在著將其錯誤地判斷為超聲波探針和工件碰撞的擔憂。另外，在專利文獻1記載的發明中，超聲波探針被固定到Z軸掃描器上。因而，在與工件碰撞時，施加大的應力，存在著工件或探針破損的擔憂。

因此，本發明的課題為，在超聲波圖像裝置中，檢測探針與工件的干擾、抑制這些探針和工件的損傷作為課題。

解決課題的手段

為了解決前述課題，第一個發明的超聲波圖像裝置，配備有：利用超聲波將平面狀的工件圖像化用的探針；對于前述工件的表面使所述探針進行二維掃描的掃描機構；通過檢測前述探針的向上方的運動來檢測前述工件和前述探針的干擾的干擾檢測機構；在前述探針的上部以與前述探針一體化的結構設置的凸緣部；以及保持前述探針用的保持器。

另外，前述干擾檢測機構被埋入配置在前述保持器內，其一部分從前述保持器的上表面突出，在前述探針與前述工件之間沒有干擾時，前述突出部被前述凸緣部推壓而埋入到前述保持器內，在前述探針與前述工件之間干擾了時，通過前述探針向上方移動，前述凸緣部也向上方移動，由此，被埋入到前述保持器內的前述突出部復原，檢測前述工件與前述探針之間的干擾。

第二個發明的超聲波圖像裝置，其特征在于，配備有：經由液體利用超聲波將平面狀的工件圖像化用的探針；對于前述工件的面使前述探針掃描的掃描機構；以及以非接觸的方式檢測前述工件與前述探針的接近的干擾檢測機構。

對于其它的機構，在實施發明用的方式中進行說明。

發明的效果

根據本發明，在超聲波圖像裝置中，能夠檢測探針與工件的干擾，抑制這些探針或工件的損傷。