[發明專利]氧化鈮濺射靶材的制備方法在審
| 申請號： | 201610893329.4 | 申請日： | 2016-10-13 |
| 公開（公告）號： | CN106567046A | 公開（公告）日： | 2017-04-19 |
| 發明（設計）人： | 施玉良 | 申請（專利權）人： | 法柯特科技（江蘇）有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京中政聯科專利代理事務所(普通合伙)11489 | 代理人： | 謝磊 |
| 地址： | 224005 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氧化 濺射 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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