[發明專利]一種IGZO成膜設備的陽極穩定裝置有效
| 申請號： | 201610890808.0 | 申請日： | 2016-10-12 |
| 公開（公告）號： | CN106637103B | 公開（公告）日： | 2019-04-05 |
| 發明（設計）人： | 朱成順;王艷昌;翟云華;沙雙慶 | 申請（專利權）人： | 南京華東電子信息科技股份有限公司;南京中電熊貓平板顯示科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 徐瑩 |
| 地址： | 210033 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 陽極 隔離組件 成膜設備 穩定裝置 電場 成膜 導出 熱效應 電子分布 使用壽命 陽極表面 整個空間 整個陽極 電場強 高電位 稼動率 絕緣膜 靶材 沉積 濺射 膜層 遮蓋 增設 阻擋 供電 | ||
1.一種IGZO成膜設備的陽極穩定裝置，其特征在于：包括設置在陽極周邊的隔離組件，所述隔離組件具有供電子導出陽極的通道，所述隔離組件為兩個相對而置且截面為C形的結構，陽極被保護在兩個C形結構構成的內部空間內，兩個C形隔離組件上開設分布均勻的小孔。
2.根據權利要求1所述的IGZO成膜設備的陽極穩定裝置，其特征在于：小孔的孔徑為10～14mm。
3.根據權利要求2所述的IGZO成膜設備的陽極穩定裝置，其特征在于：兩個C形隔離組件的對應端口之間的區域為電子導出陽極的通道，所述通道的寬度為8～10mm。
4.根據權利要求1所述的IGZO成膜設備的陽極穩定裝置，其特征在于：所述隔離組件為設置在陽極正前方的截面為弧形的結構，弧度為110～130°。
5.根據權利要求4所述的IGZO成膜設備的陽極穩定裝置，其特征在于：弧形隔離組件的兩端距離靶材12～14mm。
6.根據權利要求1所述的IGZO成膜設備的陽極穩定裝置，其特征在于：所述隔離組件的底端完全遮住陽極底端，隔離組件的頂端低于陽極頂端32～40mm。
7.根據權利要求1所述的IGZO成膜設備的陽極穩定裝置，其特征在于：所述隔離組件通過絕緣塊進行固定。
8.根據權利要求1所述的IGZO成膜設備的陽極穩定裝置，其特征在于：所述隔離組件沿陽極的軸線方向分段設置，每段隔離組件的長度為573～577mm。
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