[發明專利]一種基于碳納米管的致動器的制備方法

有效

• 申請號: 201610890804.2
• 申請日: 2016-10-12
• 公開（公告）號: CN107934909B
• 公開（公告）日: 2019-07-12
• 發明（設計）人: 馬赫;魏洋;劉鍇;姜開利;范守善
• 申請（專利權）人: 清華大學;鴻富錦精密工業（深圳）有限公司
• 主分類號: B81C1/00
• 分類號: B81C1/00;B81B3/00;B82Y30/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種致動器的制備方法，該方法包括以下步驟：提供一碳納米管層；在所述碳納米管層的表面設置一氧化釩層；以及在含氧氣氛中退火使所述氧化釩層轉變為二氧化釩層。

2.如權利要求1所述的致動器的制備方法，其特征在于，所述在碳納米管層的表面設置氧化釩層的方法進一步包括步驟：提供多個碳納米管膜；在每個碳納米管膜的表面沉積一氧化釩層；將多個沉積有氧化釩層的碳納米管膜層疊設置于所述碳納米管層的表面。

3.如權利要求2所述的致動器的制備方法，其特征在于，所述碳納米管膜厚度小于30納米，且每個碳納米管膜表面的氧化釩層厚度大于30納米，從而使得相鄰碳納米管膜之間的距離大于30納米。

4.如權利要求2所述的致動器的制備方法，其特征在于，所述碳納米管膜至少在一個方向的尺寸大于其表面的氧化釩層在該方向的尺寸，從而使得所述氧化釩層轉變為二氧化釩層后所述碳納米管膜部分延伸到所述二氧化釩層外部。

5.如權利要求4所述的致動器的制備方法，其特征在于，進一步包括使所述碳納米管膜延伸到所述二氧化釩層外的部分與所述碳納米管層接觸并電連接。

6.如權利要求1所述的致動器的制備方法，其特征在于，所述在碳納米管層的表面設置一氧化釩層的方法進一步包括步驟：提供一碳納米管陣列，所述碳納米管陣列包括多個平行間隔設置的碳納米管；沿著垂直于碳納米管長度的方向拉伸該碳納米管陣列，從而使該相鄰碳納米管之間的間距增大；在相鄰碳納米管之間沉積氧化釩，從而形成一氧化釩層；以及將沉積有氧化釩層的碳納米管陣列層疊設置于所述碳納米管層的表面，且所述碳納米管陣列中的碳納米管垂直于所述碳納米管層設置。

7.如權利要求6所述的致動器的制備方法，其特征在于，所述碳納米管陣列中的碳納米管一端與所述碳納米管層接觸，另一端向遠離所述碳納米管層的方向延伸。

8.如權利要求1所述的致動器的制備方法，其特征在于，進一步包括設置一柔性保護層，所述柔性保護層將所述碳納米管層或二氧化釩層至少部分包覆。

9.如權利要求1所述的致動器的制備方法，其特征在于，所述碳納米管層中的多個碳納米管沿著基本平行于碳納米管層表面的方向延伸。

10.如權利要求1所述的致動器的制備方法，其特征在于，進一步包括對所述氧化釩層進行摻雜。