[發明專利]一種空氣耦合超聲波檢測薄膜厚度的方法有效
| 申請號： | 201610889064.0 | 申請日： | 2016-10-12 |
| 公開（公告）號： | CN106441176B | 公開（公告）日： | 2019-04-02 |
| 發明（設計）人： | 沈宇平;趙軍輝 | 申請（專利權）人： | 蘇州博昇科技有限公司 |
| 主分類號： | G01B17/02 | 分類號： | G01B17/02 |
| 代理公司： | 蘇州銘浩知識產權代理事務所(普通合伙) 32246 | 代理人： | 潘志淵 |
| 地址： | 215000 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 空氣 耦合 超聲波 檢測 薄膜 厚度 方法 | ||
【權利要求書】：
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