[發明專利]一種多品種晶圓混合加工的組合設備穩態調度方法有效
| 申請號： | 201610888284.1 | 申請日： | 2016-10-12 |
| 公開（公告）號： | CN106292613B | 公開（公告）日： | 2018-10-26 |
| 發明（設計）人： | 潘春榮;趙坤;王際鵬;張飛;盧艷君 | 申請（專利權）人： | 江西理工大學 |
| 主分類號： | G05B19/418 | 分類號： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知識產權代理有限公司 11340 | 代理人： | 李振文 |
| 地址： | 341000 江*** | 國省代碼： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 品種 混合 加工 組合 設備 穩態 調度 方法 | ||
【說明書】：
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