[發(fā)明專利]利用ALD技術(shù)在金屬醫(yī)療器械上制備氧化物表面的方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201610887752.3
• 申請日: 2016-10-10
• 公開（公告）號: CN107916412A
• 公開（公告）日: 2018-04-17
• 發(fā)明（設計）人: 童飛
• 申請（專利權(quán)）人: 寧波昆特醫(yī)療設備有限公司
• 主分類號: C23C16/40
• 分類號: C23C16/40;C23C16/455
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種利用ALD技術(shù)在金屬醫(yī)療器械上制備氧化物表面的方法，其特征在于：所述方法包括如下步驟：

(1)清洗金屬醫(yī)療器械，并進行干燥；

(2)使用夾具將步驟(1)中的金屬醫(yī)療器械放置在ALD工作室內(nèi)；

(3)根據(jù)沉積的氧化物種類，設定ALD沉積的工藝參數(shù)；

(4)以脈沖形式向ALD工作室內(nèi)通入包含氧化物中心元素的ALD前驅(qū)體化合物蒸汽；

(5)向ALD工作室內(nèi)通入惰性沖洗氣體脈沖去除多余的ALD前驅(qū)體化合物蒸汽；

(6)以脈沖形式向ALD工作室內(nèi)通入氧源蒸汽；

(7)向ALD工作室內(nèi)通入惰性沖洗氣體脈沖去除多余的氧源蒸汽；

(8)重復步驟(4)到步驟(7)，直至金屬醫(yī)療器械達到所需的表面沉積厚度；

(9)根據(jù)沉積的氧化物種類，調(diào)整ALD工作室溫度，從ALD工作室內(nèi)取出金屬醫(yī)療器械；

(10)根據(jù)沉積的氧化物種類和金屬醫(yī)療器械種類，對所述金屬醫(yī)療器械進行后處理后，得到具有氧化物陶瓷表面的金屬醫(yī)療器械。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用ALD技術(shù)在金屬醫(yī)療器械上制備氧化物表面的方法，其特征在于：所述金屬醫(yī)療器械的金屬材質(zhì)為不銹鋼、合金或者貴金屬中的一種。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用ALD技術(shù)在金屬醫(yī)療器械上制備氧化物表面的方法，其特征在于：所述氧化物表面為氧化鋁、氧化鈦、氧化鉭、氧化鈮、氧化鋯、氧化鉿、氧化錫、氧化鋅、氧化鑭、氧化釔、氧化鈰、氧化鈧、氧化鉺、氧化釩、氧化硅、氧化銦中的一種或兩種以上的復合物。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用ALD技術(shù)在金屬醫(yī)療器械上制備氧化物表面的方法，其特征在于：所述步驟(4)中包含氧化物中心元素的ALD前驅(qū)體化合物為易揮發(fā)的鹵化物、金屬有機化合物、金屬β二酮鹽、醇鹽、金屬烷氨基鹽、有機金屬環(huán)戊二烯化合物、金屬硝酸鹽中的一種或兩種以上的混合物。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用ALD技術(shù)在金屬醫(yī)療器械上制備氧化物表面的方法，其特征在于：所述步驟(5)和步驟(7)中通入的惰性沖洗氣體為高純氮氣或氬氣。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用ALD技術(shù)在金屬醫(yī)療器械上制備氧化物表面的方法，其特征在于：所述步驟(6)中氧源為水、臭氧、醇、氮氧化合物、原子氧中的一種。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用ALD技術(shù)在金屬醫(yī)療器械上制備氧化物表面的方法，其特征在于：所述步驟(6)中氧源為水或臭氧中的一種。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用ALD技術(shù)在金屬醫(yī)療器械上制備氧化物表面的方法，其特征在于：所述氧化物表面的厚度為1～100nm。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用ALD技術(shù)在金屬醫(yī)療器械上制備氧化物表面的方法，其特征在于：所述金屬醫(yī)療器械為植入型醫(yī)療器械，包括植入器材、介入器材、齒科植入材料。