[發明專利]微粒制造裝置以及微粒制造方法

有效

• 申請號: 201610884273.6
• 申請日: 2016-10-10
• 公開（公告）號: CN106693853B
• 公開（公告）日: 2020-04-10
• 發明（設計）人: 永井久雄;小巖崎剛;末次大輔;大熊崇文
• 申請（專利權）人: 松下知識產權經營株式會社
• 主分類號: B01J19/08
• 分類號: B01J19/08
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 劉建

1.一種微粒制造裝置，具有：

真空腔室；

材料供給裝置，其與所述真空腔室連接，從材料供給口向所述真空腔室內供給材料的顆粒；

電極，其配置于所述真空腔室而產生等離子體；以及

回收裝置，其與所述真空腔室連接，對從所述真空腔室排出的微粒進行回收，

所述微粒制造裝置利用在所述真空腔室內產生的所述等離子體，由從所述材料供給裝置供給的所述材料制造所述微粒，其中，

所述回收裝置與所述材料供給裝置由配管連接，所述微粒制造裝置具有材料加熱循環裝置，所述材料加熱循環裝置通過所述配管且利用由所述等離子體加熱后的所述真空腔室內的氣體的熱來加熱所述材料。

2.根據權利要求1所述的微粒制造裝置，其中，

所述微粒制造裝置還具備溫度調節器，所述溫度調節器設置在將所述回收裝置與所述材料供給裝置連接的所述配管上，對在所述配管內流動的所述氣體的溫度進行調節。

3.根據權利要求1所述的微粒制造裝置，其中，

在將所述回收裝置與所述材料供給裝置連接的所述配管上具備下側的氣體供給管，所述下側的氣體供給管經由流量調節器且以與所述真空腔室的多個部位連接的方式分支地連接，所述下側的氣體供給管從所述材料供給口的鉛垂方向的下側向所述真空腔室內，通過所述配管以及所述下側的氣體供給管而供給由所述等離子體加熱后的所述真空腔室內的氣體。

4.根據權利要求1所述的微粒制造裝置，其中，

產生所述等離子體的電極為配置于所述真空腔室且前端向所述真空腔室內突出而產生等離子體的多根電極。

5.根據權利要求4所述的微粒制造裝置，其中，

所述微粒制造裝置還具備分別與所述多根電極連接而分別供給相位不同的電力的交流電源，從所述交流電源向所述多根電極的每一根供給所述相位不同的電力，從而生成電弧放電而產生所述等離子體。

6.根據權利要求1所述的微粒制造裝置，其中，

所述微粒制造裝置還具備：

氣體分析裝置，其配置在將所述回收裝置與所述材料供給裝置連接的所述配管上，對各氣體種類的分壓或比例進行分析；和

氣體分壓調節器，其配置在所述配管上，且根據所述氣體分析裝置的分析結果，對所述配管進行氣體的排出或氣體的導入來調節氣體分壓。

7.一種微粒制造方法，其中，

通過設置于真空腔室的電極來生成熱等離子體，

使由所述熱等離子體加熱后的氣體經由配管而返回所述真空腔室的下側的材料供給裝置，通過返回的所述氣體來加熱所述材料供給裝置內的材料，

從所述材料供給裝置的在所述真空腔室內配置的材料供給口向所述真空腔室內的所述熱等離子體的區域內投入加熱后的所述材料，

加熱后的所述材料在通過所述熱等離子體的區域中時蒸發或氣化而成為材料氣體，并且，在所述材料氣體從所述熱等離子體的所述區域脫離的瞬間，所述材料氣體急劇冷卻而生成微粒。

8.根據權利要求7所述的微粒制造方法，其中，

所述電極為多根電極，

所述熱等離子體為將相位互不相同的電力從交流電源向所述多根電極分別供給而脈沖性地放電的電弧放電。

9.根據權利要求7所述的微粒制造方法，其中，

在由所述熱等離子體加熱后的所述氣體經由所述配管而循環時，

通過氣體分壓分析裝置對所述配管內的氣體種類的分壓進行分析，根據所述分析的結果，對所述配管進行氣體的排出或氣體的供給而調節所述氣體的分壓，然后經由所述配管使所述氣體返回所述材料供給裝置以及所述真空腔室的雙方或某一方。