[發明專利]一種氧化鋅基陶瓷濺射靶材及其制備方法和應用有效
| 申請號： | 201610880632.0 | 申請日： | 2016-10-09 |
| 公開（公告）號： | CN106676487B | 公開（公告）日： | 2019-03-08 |
| 發明（設計）人： | 楊曄;蘭品軍;宋偉杰;朱永明 | 申請（專利權）人： | 寧波森利電子材料有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 上海一平知識產權代理有限公司 31266 | 代理人： | 馬莉華;馬思敏 |
| 地址： | 315176 浙江省寧*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 氧化鋅 陶瓷 濺射 及其 制備 方法 應用 | ||
【說明書】：
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