[發明專利]大口徑環拋修正盤表面形狀誤差的檢測方法有效
| 申請號: | 201610879774.5 | 申請日: | 2016-10-09 |
| 公開(公告)號: | CN106225647B | 公開(公告)日: | 2020-03-31 |
| 發明(設計)人: | 廖德鋒;謝瑞清;陳賢華;趙世杰;王健;許喬 | 申請(專利權)人: | 成都精密光學工程研究中心 |
| 主分類號: | G01B5/20 | 分類號: | G01B5/20 |
| 代理公司: | 成都希盛知識產權代理有限公司 51226 | 代理人: | 蒲敏 |
| 地址: | 610041 四*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 口徑 修正 表面 形狀 誤差 檢測 方法 | ||
【權利要求書】:
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