[發明專利]多光譜光源耦合裝置

在審

• 申請號: 201610877653.7
• 申請日: 2016-09-30
• 公開（公告）號: CN107885042A
• 公開（公告）日: 2018-04-06
• 發明（設計）人: 馬鵬川
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237
• 代理人: 屈蘅,李時云

1.一種多光譜光源耦合裝置，其特征在于：包括至少兩個光源，耦合石英棒、透射反射組件以及耦合輸出石英棒，每個所述耦合石英棒的入射端設有一個所述光源，每個所述耦合石英棒的出射端設有一個透射反射組件，每個所述透射反射組件的兩個入射端分別設有入射有不同光源的耦合石英棒或耦合輸出石英棒，每個所述耦合輸出石英棒設于一個所述透射反射組件的出射端，所述透射反射組件將兩個入射端傳遞而來的能量透射和/或反射后傳遞至處于其出射端的所述耦合輸出石英棒。

2.如權利要求1所述的多光譜光源耦合裝置，其特征在于：所述耦合石英棒和耦合輸出石英棒的橫截面呈多邊形。

3.如權利要求1所述的多光譜光源耦合裝置，其特征在于：所述耦合石英棒和耦合輸出石英棒的出射端面大于入射端面。

4.如權利要求1所述的多光譜光源耦合裝置，其特征在于：所述耦合石英棒的截面大于對應的所述光源的輸出面。

5.如權利要求1所述的多光譜光源耦合裝置，其特征在于：所述光源和耦合石英棒的數量均為兩個，對應的，所述耦合輸出石英棒和透射反射組件的數量為一個。

6.如權利要求1所述的多光譜光源耦合裝置，其特征在于：所述光源和耦合石英棒的數量均為三個，所述耦合輸出石英棒和透射反射組件的數量為兩個；

其中，第一耦合石英棒與第二耦合石英棒設于第一透射反射組件的兩個入射端，所述第一耦合輸出石英棒設于所述第一透射反射組件的出射端，所述第一耦合輸出石英棒和第三耦合石英棒設于所述第二透射反射組件的兩個入射端，第二耦合輸出石英棒設于所述第二透射反射組件的出射端。

7.如權利要求6所述的多光譜光源耦合裝置，其特征在于：所述第一耦合石英棒為I線耦合石英棒，其入射端對應設有I線光源；所述第二耦合石英棒為H線耦合石英棒，其入射端對應設有H線光源；所述第三耦合石英棒為G線耦合石英棒，其入射端對應設有G線光源。

8.如權利要求1至7任意之一所述的多光譜光源耦合裝置，其特征在于：所述透射反射組件的出射面與所述第一入射面相對，所述透射反射組件進一步用以透射第一入射端入射的能量至出射端，反射第二入射端的能量至出射端。

9.如權利要求7所述的多光譜光源耦合裝置，其特征在于：所述透射反射組件包括帶通反射鏡和三個反射鏡，所述帶通反射鏡、三個反射鏡以及透射反射組件的第一入射面圍合構成直角三棱柱結構，所述帶通反射鏡處于三棱柱結構的斜面，一個所述反射鏡和第一入射面處于兩個直角面，另兩個所述反射鏡處于另外兩個側面；

所述帶通反射鏡進一步被配置為能夠透射所述第一入射面入射的能量至出射面，反射第二入射面的能量至出射面。

10.如權利要求7所述的多光譜光源耦合裝置，其特征在于：所述透射反射組件包括三角棱鏡和三個反射鏡，所述三角棱鏡的一個直角面為所述透射反射組件的第二入射面，所述三角棱鏡的另一個直角面為所述透射反射組件出射面，所述三角棱鏡的斜面、三個反射鏡，以及所述透射反射組件的第一入射面圍合構成直角三棱柱結構，所述三角棱鏡的斜面處于三棱柱結構的斜面，一個所述反射鏡和第一入射面處于兩個直角面，另兩個所述反射鏡處于另外兩個側面；

所述三角棱鏡的斜面進一步設有能夠透射所述第一入射面入射的能量至出射面的高透膜層，以及反射第二入射面的能量至出射面的高反膜層，作為所述透射反射組件出射面的所述三角棱鏡的直角面設有與對應入射的能量匹配的高透膜層，三個所述反射鏡上設有能夠反射第一入射面入射的能量的高反膜層。