[發明專利]一種硅片線痕檢測方法及檢測裝置在審
| 申請號： | 201610873143.2 | 申請日： | 2016-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN106556610A | 公開（公告）日： | 2017-04-05 |
| 發明（設計）人： | 尹昊;郭立;陳勇平 | 申請（專利權）人： | 中國電子科技集團公司第四十八研究所 |
| 主分類號： | G01N21/956 | 分類號： | G01N21/956;G01B11/00;G01K13/00 |
| 代理公司： | 湖南兆弘專利事務所(普通合伙)43008 | 代理人： | 周長清,蔣維特 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 硅片 檢測 方法 裝置 | ||
【權利要求書】：
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