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[發明專利]集成電路生產車間用懸吊式除塵管在審

專利信息
申請號: 201610867125.3 申請日: 2016-09-29
公開(公告)號: CN106424018A 公開(公告)日: 2017-02-22
發明(設計)人: 呂耀安 申請(專利權)人: 無錫宏納科技有限公司
主分類號: B08B5/04 分類號: B08B5/04;B08B15/04
代理公司: 無錫華源專利商標事務所(普通合伙)32228 代理人: 孫力堅;聶啟新
地址: 214000 江蘇省無錫市新區清源路*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 集成電路 生產 車間 懸吊 除塵
【權利要求書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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