[發(fā)明專(zhuān)利]測(cè)量探頭和測(cè)量探頭系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610866675.3
• 申請(qǐng)日: 2016-09-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107044818B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-05-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 日高和彥;濱伸行;中山樹(shù);松宮貞行
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 株式會(huì)社三豐
• 主分類(lèi)號(hào): G01B5/20
• 分類(lèi)號(hào): G01B5/20;G01B5/012
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會(huì)華

本發(fā)明提供一種測(cè)量探頭和測(cè)量探頭系統(tǒng)。一種測(cè)量探頭(124)，其用于對(duì)設(shè)為能夠相對(duì)于其相對(duì)旋轉(zhuǎn)的滾珠絲杠(102)的螺紋槽(102A)進(jìn)行測(cè)量，其包括：測(cè)頭(126)，其具有能夠與螺紋槽(102A)接觸的頂端部(126A)；徑向移位機(jī)構(gòu)(127)，其將測(cè)頭(126)支承成能夠沿著朝向滾珠絲杠(102)的軸心(O)的(X)方向移位；軸向移位機(jī)構(gòu)(131)，其將測(cè)頭(126)支承能夠沿著軸心(O)的軸向(Z方向)移位；以及傳感器(135、136)，其用于對(duì)測(cè)頭(126)的由徑向移位機(jī)構(gòu)(127)和軸向移位機(jī)構(gòu)(131)產(chǎn)生的移位進(jìn)行檢測(cè)。由此，能夠高精度地測(cè)量設(shè)為能夠相對(duì)于其相對(duì)旋轉(zhuǎn)的工件的側(cè)面的預(yù)定的位置。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及測(cè)量探頭和測(cè)量探頭系統(tǒng)，尤其是，涉及能夠高精度地測(cè)量設(shè)為能夠相對(duì)于其相對(duì)旋轉(zhuǎn)的工件的側(cè)面的預(yù)定的位置的測(cè)量探頭和測(cè)量探頭系統(tǒng)。

背景技術(shù)

以往，使用了日本特開(kāi)2010－2392號(hào)公報(bào)(以下稱(chēng)為專(zhuān)利文獻(xiàn)1)所示那樣的測(cè)量探頭。該測(cè)量探頭具有可插入到圓柱凸輪的凸輪槽的測(cè)量觸頭(測(cè)頭)，成為如下結(jié)構(gòu)：通過(guò)該測(cè)量探頭與旋轉(zhuǎn)的圓柱凸輪的凸輪槽的上下表面接觸并上下運(yùn)動(dòng)，測(cè)量工件的側(cè)面形狀即圓柱凸輪的輪廓。

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的問(wèn)題

然而，專(zhuān)利文獻(xiàn)1是如下結(jié)構(gòu)：由于圓柱凸輪的旋轉(zhuǎn)而從凸輪槽對(duì)測(cè)量觸頭施加力，測(cè)量探頭上下運(yùn)動(dòng)。因此，測(cè)量觸頭并不一定會(huì)可靠地與凸輪槽的所期望的預(yù)定的位置接觸，有可能無(wú)法高精度地進(jìn)行該預(yù)定的位置的測(cè)量。

本發(fā)明是為了解決所述的問(wèn)題點(diǎn)而做成的，課題在于提供一種能夠高精度地測(cè)量設(shè)為能夠相對(duì)于其相對(duì)旋轉(zhuǎn)的工件的側(cè)面的預(yù)定的位置的測(cè)量探頭和測(cè)量探頭系統(tǒng)。

用于解決問(wèn)題的方案

本申請(qǐng)的技術(shù)方案1的發(fā)明是一種測(cè)量探頭，其用于對(duì)設(shè)為能夠相對(duì)于其相對(duì)旋轉(zhuǎn)的工件的側(cè)面形狀進(jìn)行測(cè)量，其通過(guò)包括如下構(gòu)件而解決了所述課題：測(cè)頭，其具有能夠與所述工件的側(cè)面接觸的頂端部；徑向移位機(jī)構(gòu)，其將該測(cè)頭支承成能夠沿著朝向該工件的軸心的方向移位；軸向移位機(jī)構(gòu)，其將該測(cè)頭支承成沿著該軸心的軸向移位；以及傳感器，其對(duì)該測(cè)頭的由該徑向移位機(jī)構(gòu)和該軸向移位機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的移位進(jìn)行檢測(cè)。

在本申請(qǐng)的技術(shù)方案2的發(fā)明中，所述徑向移位機(jī)構(gòu)包括：徑向移位構(gòu)件，其與所述測(cè)頭一體地設(shè)置；多個(gè)第1鉸接構(gòu)件，其與該徑向移位構(gòu)件連接，與該測(cè)頭的移位相對(duì)應(yīng)地變形；以及徑向外殼，其借助該多個(gè)第1鉸接構(gòu)件支承該徑向移位構(gòu)件，并且，所述軸向移位機(jī)構(gòu)包括：軸向移位構(gòu)件，其用于支承該徑向外殼；多個(gè)第2鉸接構(gòu)件，其與該軸向移位構(gòu)件連接，與該測(cè)頭的移位相對(duì)應(yīng)地變形；以及軸向外殼，其借助該多個(gè)第2鉸接構(gòu)件支承該軸向移位構(gòu)件。

在本申請(qǐng)的技術(shù)方案3的發(fā)明中，所述傳感器包括：第1傳感器，其具有：第1基準(zhǔn)構(gòu)件，其設(shè)于所述徑向移位構(gòu)件的與測(cè)頭相反側(cè)的端部；以及第1檢測(cè)構(gòu)件，其以與該第1基準(zhǔn)構(gòu)件對(duì)峙的方式固定于所述徑向外殼，用于對(duì)該第1基準(zhǔn)構(gòu)件的位置進(jìn)行檢測(cè)；以及第2傳感器，其具有：第2基準(zhǔn)構(gòu)件，其設(shè)于所述軸向移位構(gòu)件的端部；以及第2檢測(cè)構(gòu)件，其以與該第2基準(zhǔn)構(gòu)件對(duì)峙的方式固定于所述軸向外殼，用于對(duì)該第2基準(zhǔn)構(gòu)件的位置進(jìn)行檢測(cè)。

在本申請(qǐng)的技術(shù)方案4的發(fā)明中，具有能夠使與所述第1鉸接構(gòu)件、所述第2鉸接構(gòu)件的變形量相對(duì)應(yīng)地增大的恢復(fù)力分別降低的緩沖機(jī)構(gòu)。

在本申請(qǐng)的技術(shù)方案5的發(fā)明中，所述緩沖機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)磁性構(gòu)造體，將該兩個(gè)磁性構(gòu)造體以彼此對(duì)稱(chēng)的方式設(shè)置于所述徑向移位構(gòu)件的側(cè)面。

在本申請(qǐng)的技術(shù)方案6的發(fā)明中，所述徑向移位機(jī)構(gòu)具有將所述徑向移位構(gòu)件臨時(shí)夾緊于所述徑向外殼的夾緊機(jī)構(gòu)。

在本申請(qǐng)的技術(shù)方案7的發(fā)明中，所述頂端部設(shè)為多個(gè)，能夠相對(duì)地調(diào)整該頂端部的彼此的位置。