[發明專利]光照射裝置以及光照射方法

有效

• 申請號: 201610865517.6
• 申請日: 2016-09-29
• 公開（公告）號: CN106997125B
• 公開（公告）日: 2021-09-03
• 發明（設計）人: 木村淳治
• 申請（專利權）人: 優志旺電機株式會社
• 主分類號: G02F1/1337
• 分類號: G02F1/1337
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 胡建新

本發明提供光照射裝置以及光照射方法，在最佳的定時監視是否對于對象物照射有適當量的光，根據監視結果對光源進行適當控制。上側保持了對象物(W)的工作臺(2)，通過搬運機構(3)向X方向移動，在通過照射區域時工件(W)受到光照射。工作臺(2)的側面(21)上安裝的照度計的測定值向控制器(7)發送，控制器(7)所具備的點亮控制單元(73)對測定值進行累計而計算光量，并與設定為光量的光基準值進行比較，以差分消失的方式將控制指令信號向光源(11)的點亮電源(110)發送。

技術領域

本申請的發明涉及以各種目的朝對象物照射光的裝置以及方法。

背景技術

光在工業上的利用在各種領域中正在發展，以各種目的來進行朝對象物照射光。特別是，通過光使對象物的性質變化的光處理的技術，在各種制品的制造工序中被廣泛利用。

例如，在液晶顯示器的制造工序中，近年，變得較多采用被稱為光取向的光處理。光取向為如下技術：在得到液晶顯示器用的取向層、視場角補償膜用的取向層時，通過對取向層用的膜材進行光照射，由此得到取向膜(成為取向層的膜)。

在這樣的光處理的領域中，有時采用如下的構成：預先向某個確定的區域照射光，將光處理的對象物(以下，稱為工件)以在該區域(以下，稱為照射區域)通過的方式進行搬運。在上述光取向的領域中，也如專利文獻1所示那樣，使用采用了這種構成的裝置。

專利文獻1：日本特開2014－174287號公報

在進行上述那樣的光處理的光照射裝置中，需要對工件賦予適當的光量。當光量不足時，一般來說光處理變得不充分，相反在光量過度的情況下，基于光的化學反應發展，不能夠進行適當的光處理。例如，光照射裝置所具備的光源，光輸出逐漸降低的情況較多。該情況是由劣化導致的情況較多，但即使沒有達到劣化程度，有時光輸出性能也從最初的狀態降低若干。

上述那樣的光照射裝置，以在照射區域中以規定的照度進行光照射的情況為前提，以規定的速度對工件進行搬運而使其通過照射區域，由此對工件賦予規定量的光能量。由此，當照度從預定的值降低時，直接導致光能量的降低，成為光處理不足。

考慮到這一點，日本特開2014－174287號公報中公開了在照射區域配置照度傳感器來確認是否得到所希望的光照射能量的技術。在該公報中，在光照射結束后的工件的排出工序的期間中，將照度傳感器配置到照射區域，進行光照射能量的確認。

然而，即使在對工件進行光照射以外的期間在照射區域中配置照度傳感器來進行光照射能量的確認，也不能保證在對實際的工件進行光照射時賦予足夠的能量。例如，有可能存在如下情況：在對于工件的光照射中產生某種故障而光源的輸出降低、以不足的照度進行了光照射的情況下，之后，在配置照度傳感器來進行檢查之前的期間該故障消除(不穩定地產生故障的情況)。在該情況下，成為不能夠掌握在光量不足的情況下進行了處理的狀態。并且，在該情況下，當在檢查后重新開始處理時，還存在該故障又產生而在照度不足的情況進行處理的情況，會進一步進行光量不足的處理。

發明內容

本申請的發明是考慮到上述課題而進行的，其目的在于提供光照射裝置以及光照射方法，在最佳的定時監視是否對于對象物照射有適當量的光，根據監視結果對光源進行適當控制，由此常時對于對象物進行適當量的光照射。

為了解決上述課題，本申請的技術方案1記載的發明具有的構成為，一種光照射裝置，具備朝照射區域照射光的光照射器、使對象物沿著以通過照射區域的形式設定的搬運路搬運的搬運機構、以及控制器，

光照射器具備光源以及向光源供給電力的點亮電源，

搬運機構是以設定通過速度通過照射區域而搬運對象物的機構，該設定通過速度被確定為，通過在被光照射的照射區域中通過，由此對象物所受到的光量成為規定值，

在該搬運機構上，設置有對在對象物通過照射區域時的光照射的強度或者量進行測定的測定器，