[發明專利]一種基于慣性壓電馬達的掃描隧道顯微鏡有效
| 申請號： | 201610865249.8 | 申請日： | 2016-09-29 |
| 公開（公告）號： | CN106546770B | 公開（公告）日： | 2019-05-21 |
| 發明（設計）人： | 龐宗強;張悅 | 申請（專利權）人： | 南京郵電大學 |
| 主分類號： | G01Q10/04 | 分類號： | G01Q10/04 |
| 代理公司： | 南京知識律師事務所 32207 | 代理人： | 胡玲 |
| 地址： | 210000 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 慣性 壓電 馬達 掃描 隧道 顯微鏡 | ||
【權利要求書】：
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